|
|
Физика и техника полупроводников, 2013, том 47, выпуск 10, страницы 1371–1375
(Mi phts8042)
|
|
|
|
Эта публикация цитируется в 1 научной статье (всего в 1 статье)
Микро- и нанокристаллические, пористые, композитные полупроводники
Исследование механизмов взаимодействия NO$_2$ и поверхности слоев нанокомпозита por-Si/SnO$_x$
В. В. Болотов, В. Е. Кан, Р. К. Макушенко, М. Ю. Бирюков, К. Е. Ивлев, В. Е. Росликов Омский филиал Института физики полупроводников им. А.В. Ржанова
Сибирского отделения Российской академии наук,
644018 Омск, Россия
Аннотация:
Методами спектроскопии инфракрасного поглощения и электронного парамагнитного резонанса исследованы механизмы взаимодействия молекул NO$_2$ с поверхностью нанокомпозитов por-Si/SnOx, полученных методами магнетронного напыления и CVD (chemical vapor deposition). Наблюдаемое увеличение концентрации свободных носителей заряда в слоях нанокомпозитов por-Si/SnO$_x$ объясняется изменением зарядового состояния $P_b$-центров за счет образования нейтрального комплекса "поверхностный дефект-адсорбированная молекула NO$_2$" с генерацией свободного носителя заряда в объеме кристаллита. В слоях нанокомпозита, полученного методом CVD, рост концентрации свободных дырок при адсорбции NO$_2$ значительно менее выражен в сравнении с композитом, полученным методом магнетронного напыления, что обусловлено конкурирующим каналом взаимодействия молекул NO$_2$ с электронейтральными $P_b$-центрами.
Поступила в редакцию: 16.01.2013 Принята в печать: 21.01.2013
Образец цитирования:
В. В. Болотов, В. Е. Кан, Р. К. Макушенко, М. Ю. Бирюков, К. Е. Ивлев, В. Е. Росликов, “Исследование механизмов взаимодействия NO$_2$ и поверхности слоев нанокомпозита por-Si/SnO$_x$”, Физика и техника полупроводников, 47:10 (2013), 1371–1375; Semiconductors, 47:10 (2013), 1362–1366
Образцы ссылок на эту страницу:
https://www.mathnet.ru/rus/phts8042 https://www.mathnet.ru/rus/phts/v47/i10/p1371
|
|