Оптические постоянные тонких пленок наночастиц кремния, полученных методом лазерного электродиспергирования

Продолжены исследования пленок, состоящих из аморфных плотноупакованных наночастиц кремния, полученных методом лазерного электродиспергирования. Были измерены спектры оптического пропускания и отражения пленок, изготовленных в вакууме и при различных давлениях кислорода, введенного в камеру для пассивации поверхности наночастиц. Рассчитаны спектры показателя преломления и коэффициента экстинкции пленок. По виду спектры оптических постоянных коррелируют со спектрами объемного аморфного кремния, но полученные величины отличаются от параметров объемного аморфного кремния. Различия связаны со значительным объемом пустот между наночастицами и с большим количеством оборванных связей (дефектов) на поверхности наночастиц. С увеличением содержания кислорода в пленках значения оптических постоянных уменьшаются, что отражает процесс пассивации оборванных связей кислородом.