Физика и техника полупроводников
RUS  ENG    ЖУРНАЛЫ   ПЕРСОНАЛИИ   ОРГАНИЗАЦИИ   КОНФЕРЕНЦИИ   СЕМИНАРЫ   ВИДЕОТЕКА   ПАКЕТ AMSBIB  
Общая информация
Последний выпуск
Архив
Правила для авторов

Поиск публикаций
Поиск ссылок

RSS
Последний выпуск
Текущие выпуски
Архивные выпуски
Что такое RSS


Физика и техника полупроводников:
Год:
Том:
Выпуск:
Страница:
Найти




Персональный вход:
Логин:
Пароль:
Запомнить пароль
Войти
Забыли пароль?
Регистрация

Физика и техника полупроводников, 2013, том 47, выпуск 10, страницы 1421–1424 (Mi phts8051)  
Эта публикация цитируется в 15 научных статьях (всего в 15 статьях)

Изготовление, обработка, тестирование материалов и структур

Оптические свойства пленок ITO, полученных высокочастотным магнетронным напылением с сопутствующей ионной обработкой

П. Н. Крылов, Р. М. Закирова, И. В. Федотова

Удмуртский государственный университет, 426034 Ижевск, Россия
PDF полного текста (192 kB) Список цитирования (15)
Аннотация: Представлено изменение свойств пленок ITO (indium tin oxide), полученных методом реактивного высокочастотного напыления с одновременной ионной обработкой. Пленки ITO имеют в оптическом диапазоне 450–1100 нм пропускание 80%, ширину запрещенной зоны 3.50–3.60 эВ, показатель преломления 1.97–2.06. Все характеристики пленок зависят от тока ионной обработки. Ионная обработка в процессе напыления уменьшает удельное сопротивление пленок ITO, минимальное значение сопротивления составляет 2 $\cdot$ 10$^{-3}$ Ом $\cdot$ см. Обнаружена деградация пленок с высоким удельным сопротивлением при хранении на воздухе.
Поступила в редакцию: 28.01.2013
Принята в печать: 04.02.2013
Англоязычная версия:
Semiconductors, 2013, Volume 47, Issue 10, Pages 1412–1415
DOI: https://doi.org/10.1134/S1063782613100175
Реферативные базы данных:
Тип публикации: Статья
Образец цитирования: П. Н. Крылов, Р. М. Закирова, И. В. Федотова, “Оптические свойства пленок ITO, полученных высокочастотным магнетронным напылением с сопутствующей ионной обработкой”, Физика и техника полупроводников, 47:10 (2013), 1421–1424; Semiconductors, 47:10 (2013), 1412–1415
Цитирование в формате AMSBIB
\RBibitem{KriZakFed13}
\by П.~Н.~Крылов, Р.~М.~Закирова, И.~В.~Федотова
\paper Оптические свойства пленок ITO, полученных высокочастотным магнетронным напылением с сопутствующей ионной обработкой
\jour Физика и техника полупроводников
\yr 2013
\vol 47
\issue 10
\pages 1421--1424
\mathnet{http://mi.mathnet.ru/phts8051}
\elib{https://elibrary.ru/item.asp?id=20319594}
\transl
\jour Semiconductors
\yr 2013
\vol 47
\issue 10
\pages 1412--1415
\crossref{https://doi.org/10.1134/S1063782613100175}
Образцы ссылок на эту страницу:
  • https://www.mathnet.ru/rus/phts8051
  • https://www.mathnet.ru/rus/phts/v47/i10/p1421
    • Эта публикация цитируется в следующих 15 статьяx:
    Citing articles in Google Scholar: Russian citations, English citations
    Related articles in Google Scholar: Russian articles, English articles
    		Физика и техника полупроводников Физика и техника полупроводников
     
      Обратная связь:
    		  Пользовательское соглашение  Регистрация посетителей портала  Логотипы © Математический институт им. В. А. Стеклова РАН, 2025