|
|
Физика и техника полупроводников, 2013, том 47, выпуск 11, страницы 1554–1558
(Mi phts8077)
|
|
|
|
Эта публикация цитируется в 4 научных статьях (всего в 4 статьях)
Полупроводниковые структуры, низкоразмерные системы, квантовые явления
Исследование переходного слоя в гетероструктурах 3C-SiH/6H-SiC
А. А. Лебедев, М. В. Заморянская, С. Ю. Давыдов, Д. А. Кириленко, С. П. Лебедев, Л. М. Сорокин, Д. Б. Шустов, М. П. Щеглов Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук, г. Санкт-Петербург
Аннотация:
Методами ТЕМ и катодолюминесценции проведено исследование переходной области гетероструктур 3C-SiC/6H-SiC. Обнаружено, что данная область, как правило, состоит из чередования слоев 3C-SiC и 6H-SiC с возможным включением и других политипов карбида кремния. Высказано предположение, что подобная структура переходной области может быть объяснена на основе модели спинодального распада.
Поступила в редакцию: 03.04.2013 Принята в печать: 16.04.2013
Образец цитирования:
А. А. Лебедев, М. В. Заморянская, С. Ю. Давыдов, Д. А. Кириленко, С. П. Лебедев, Л. М. Сорокин, Д. Б. Шустов, М. П. Щеглов, “Исследование переходного слоя в гетероструктурах 3C-SiH/6H-SiC”, Физика и техника полупроводников, 47:11 (2013), 1554–1558; Semiconductors, 47:11 (2013), 1539–1543
Образцы ссылок на эту страницу:
https://www.mathnet.ru/rus/phts8077 https://www.mathnet.ru/rus/phts/v47/i11/p1554
|
|