|
|
Физика и техника полупроводников, 2012, том 46, выпуск 1, страницы 109–112
(Mi phts8129)
|
|
|
|
Эта публикация цитируется в 4 научных статьях (всего в 4 статьях)
Микро- и нанокристаллические, пористые, композитные полупроводники
Исследование электрофизических и газочувствительных свойств слоев нанокомпозита por-Si/SnO$_x$
В. В. Болотов, В. Е. Росликов, Е. А. Курдюкова, О. В. Кривозубов, Ю. А. Стенькин, Д. В. Чередов Омский филиал Института физики полупроводников им. А.В. Ржанова Сибирского отделения Российской академии наук,
644018 Омск, Россия
Аннотация:
Исследованы электрофизические характеристики и чувствительность к химическим реагентам слоев гетерофизических нанокомпозитов на основе пористого кремния и нестехиометрического диоксида олова por-Si/SnO$_x$, полученных методом магнетронного напыления олова с последующим окислением. Показано, что в слоях нанокомпозитов формируется система распределенных гетеропереходов (нанокристаллы Si/SnO$_x$), определяющих электрические характеристики таких структур. Определена чувствительность тестовых сенсорных структур, созданных на основе нанокомпозитов por-Si/SnO$_x$ к NO$_2$. Предложен механизм влияния адсорцбии молекул NO$_2$ на вольт-амперные характеристики гетеропереходов por-Si(p)/SnO$_x$(n).
Поступила в редакцию: 09.06.2011 Принята в печать: 15.06.2011
Образец цитирования:
В. В. Болотов, В. Е. Росликов, Е. А. Курдюкова, О. В. Кривозубов, Ю. А. Стенькин, Д. В. Чередов, “Исследование электрофизических и газочувствительных свойств слоев нанокомпозита por-Si/SnO$_x$”, Физика и техника полупроводников, 46:1 (2012), 109–112; Semiconductors, 46:1 (2012), 105–108
Образцы ссылок на эту страницу:
https://www.mathnet.ru/rus/phts8129 https://www.mathnet.ru/rus/phts/v46/i1/p109
|
|