|
|
Физика и техника полупроводников, 2012, том 46, выпуск 6, страницы 857–860
(Mi phts8272)
|
|
|
|
Эта публикация цитируется в 10 научных статьях (всего в 10 статьях)
Изготовление, обработка, тестирование материалов и структур
Влияние диффузии с боковой поверхности на скорость роста нитевидных нанокристаллов GaN
Н. В. Сибирёвab, M. Tchernychevaacd, Г. Э. Цырлинabef, G. Patriarched, J. C. Harmandd, В. Г. Дубровскийabf a Академический университет,
194021 Санкт-Петербург, Россия
b Санкт-Петербургский государственный университет,
199034 Санкт-Петербург, Россия
c Institute d’Electronique Fondamentale, Universite Paris-Sud
F91405 Orsay, France
d CNRS-LPN, Route de Nozay,
91460 Marcoussis, France
e Институт аналитического приборостроения РАН, 190103 Санкт-Петербург, Россия
f Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук, 194021 Санкт-Петербург, Россия
Аннотация:
Проведены экспериментальные и теоретические исследования кинетики роста нитевидных нанокристаллов GaN на поверхности Si(111) в отсутствие катализатора. Безкаталитические нитевидные нанокристаллы GaN были выращены методом молекулярно-пучковой эпитаксии с AlN-вставками, что позволяет определить их вертикальную скорость роста. Развита модель формирования нитевидных нанокристаллов GaN и получено выражение для скорости роста. Показано, что зависимость скорости роста от диаметра в общем случае имеет минимум. Значение диаметра, при котором наблюдается минимум скорости роста, монотонно возрастает с увеличением диффузионного потока Ga с боковой поверхности.
Поступила в редакцию: 21.11.2011 Принята в печать: 28.11.2011
Образец цитирования:
Н. В. Сибирёв, M. Tchernycheva, Г. Э. Цырлин, G. Patriarche, J. C. Harmand, В. Г. Дубровский, “Влияние диффузии с боковой поверхности на скорость роста нитевидных нанокристаллов GaN”, Физика и техника полупроводников, 46:6 (2012), 857–860; Semiconductors, 46:6 (2012), 838–841
Образцы ссылок на эту страницу:
https://www.mathnet.ru/rus/phts8272 https://www.mathnet.ru/rus/phts/v46/i6/p857
|
|