Влияние концентрации олова на состав, оптические и электрические свойства пленок ITO, осажденных методом ультразвукового спрей-пиролиза на кремний и стекло

С целью оптимизации свойств легированного оловом оксида индия (ITO) применительно к кремниевым солнечным элементам осаждали пленки толщиной $\sim$100 нм методом ультразвукового спрей-пиролиза при температуре 380$^\circ$C в аргоне на подложки $(nn^+)$-Cz-Si и стекла, варьируя относительное содержание Sn и In в пленкообразующем растворе в диапазоне Sn/In = 0–12 ат%. Оптимальные параметры показали пленки, полученные при Sn/In = 2–3 ат% в растворе (в пленке Sn/(In+Sn) = 5.2–5.3 ат%): эффективное поглощение пленок на стекле, взвешенное по солнечному спектру в диапазоне длин волн 300–1100 нм, составило 1.6–2.1%, слоевое сопротивление пленок на кремнии $R_s$ = 45–55 Ом/$\square$, пленок на стекле $R_s$ = 165–175 Ом/$\square$. Через 8 месяцев хранения на воздухе $R_s$ оптимальных пленок не изменилось, $R_s$ остальных пленок выросло: для пленок на кремнии до 2 раз, на стекле до 14 раз.