|
|
Физика и техника полупроводников, 2012, том 46, выпуск 8, страницы 1017–1021
(Mi phts8298)
|
|
|
|
Эта публикация цитируется в 6 научных статьях (всего в 6 статьях)
Поверхность, границы раздела, тонкие пленки
Совершенство поверхности кристаллов $p$-Si и радиационно-стимулированные изменения характеристик поверхностно-барьерных структур Bi–Si–Al
Б. В. Павлык, Д. П. Слободзян, А. С. Грыпа, Р. М. Лыс, М. О. Кушлык, И. А. Шикоряк, Р. И. Дидык Львовский национальный университет им. И. Франко, 79000 Львов, Украина
Аннотация:
Представлены результаты исследования радиационно-стимулированных изменений электрофизических характеристик поверхностно-барьерных структур на базе кристаллов $p$-Si с различным удельным сопротивлением (24, 10 Ом $\cdot$ см). Проведен анализ состояния поверхности исследуемых образцов с использованием атомно-силовой микроскопии. Показано, что в зависимости от дефектной структуры кремниевой подложки воздействие радиации приводит к эволюции структурных дефектов, изменению зарядового состояния уже существующих дефектов в структурах на базе “солнечного” кремния (24 Ом $\cdot$ см). В приповерхностном слое кристаллов КДБ-24 образуются дефекты пирамидальной формы, которые под действием рентгеновских лучей частично изменяют свою структуру.
Поступила в редакцию: 13.02.2012 Принята в печать: 17.02.2012
Образец цитирования:
Б. В. Павлык, Д. П. Слободзян, А. С. Грыпа, Р. М. Лыс, М. О. Кушлык, И. А. Шикоряк, Р. И. Дидык, “Совершенство поверхности кристаллов $p$-Si и радиационно-стимулированные изменения характеристик поверхностно-барьерных структур Bi–Si–Al”, Физика и техника полупроводников, 46:8 (2012), 1017–1021; Semiconductors, 46:8 (2012), 993–997
Образцы ссылок на эту страницу:
https://www.mathnet.ru/rus/phts8298 https://www.mathnet.ru/rus/phts/v46/i8/p1017
|
|