|
|
Письма в Журнал технической физики, 1991, том 17, выпуск 2, страницы 56–61
(Mi pjtf3638)
|
|
|
|
Эта публикация цитируется в 1 научной статье (всего в 1 статье)
Имплантация мышьяка в кремний излучением мощного KrF лазера
В. Л. Канцырев, Н. В. Морозов, Б. А. Ольшвангер, П. Б. Сергеев, М. А. Тюнина
Образец цитирования:
В. Л. Канцырев, Н. В. Морозов, Б. А. Ольшвангер, П. Б. Сергеев, М. А. Тюнина, “Имплантация мышьяка в кремний излучением мощного KrF лазера”, Письма в ЖТФ, 17:2 (1991), 56–61
Образцы ссылок на эту страницу:
https://www.mathnet.ru/rus/pjtf3638 https://www.mathnet.ru/rus/pjtf/v17/i2/p56
|
|