|
|
Письма в Журнал технической физики, 1992, том 18, выпуск 10, страницы 67–73
(Mi pjtf4313)
|
|
|
|
Исследование процессов формирования слоев нитрида титана
при низкоэнергетической имплантации ионов азота в титан
А. С. Игнатьев, А. Г. Петрова, Ю. Э. Рябов
Образец цитирования:
А. С. Игнатьев, А. Г. Петрова, Ю. Э. Рябов, “Исследование процессов формирования слоев нитрида титана
при низкоэнергетической имплантации ионов азота в титан”, Письма в ЖТФ, 18:10 (1992), 67–73
Образцы ссылок на эту страницу:
https://www.mathnet.ru/rus/pjtf4313 https://www.mathnet.ru/rus/pjtf/v18/i10/p67
|
|