|
Эта публикация цитируется в 5 научных статьях (всего в 5 статьях)
Диэлектрические и пироэлектрические свойства композитов на основе нитридов алюминия и галлия, выращенных методом хлорид-гидридной эпитаксии на подложке карбида кремния на кремнии
А. В. Солнышкинa, О. Н. Сергееваa, О. А. Шустоваa, Ш. Ш. Шарофидиновbc, М. В. Старицынd, Е. Ю. Каптеловb, С. А. Кукушкинc, И. П. Пронинb a Тверской государственный университет
b Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук, г. Санкт-Петербург
c Институт проблем машиноведения РАН, г. Санкт-Петербург
d НИЦ "Курчатовский институт" – Центральный научно-исследовательский институт конструкционных материалов
"Прометей" им. И.В. Горынина, Санкт-Петербург, Россия
Аннотация:
Исследованы микроструктура, диэлектрические и пироэлектрические свойства композитных эпитаксиальных слоев Al$_{x}$Ga$_{1-x}$N, выращенных на подложках SiC/(111)Si методом хлорид-гидридной эпитаксии. Обнаружено явление самопроизвольного (в процессе роста слоев) образования системы гетеропереходов. На основе эпитаксиальных слоев Al$_{x}$Ga$_{1-x}$N получен материал, обладающий на данный момент одним из самых больших значений пирокоэффициентов для кристаллов (или тонких пленок) нитрида алюминия.
Ключевые слова:
нитрид алюминия, нитрид галлия, твердые растворы нитридов алюминия и галлия, карбид кремния на кремнии, хлорид-гидридная эпитаксия, диэлектрические свойства, пироэлектрические свойства.
Поступила в редакцию: 28.12.2020 Исправленный вариант: 28.12.2020 Принята в печать: 26.01.2021
Образец цитирования:
А. В. Солнышкин, О. Н. Сергеева, О. А. Шустова, Ш. Ш. Шарофидинов, М. В. Старицын, Е. Ю. Каптелов, С. А. Кукушкин, И. П. Пронин, “Диэлектрические и пироэлектрические свойства композитов на основе нитридов алюминия и галлия, выращенных методом хлорид-гидридной эпитаксии на подложке карбида кремния на кремнии”, Письма в ЖТФ, 47:9 (2021), 7–10; Tech. Phys. Lett., 47:6 (2021), 466–469
Образцы ссылок на эту страницу:
https://www.mathnet.ru/rus/pjtf4794 https://www.mathnet.ru/rus/pjtf/v47/i9/p7
|
|