Влияние энергии напыляемых ионов на структуру, состав и свойства мультислойных ионно-плазменных покрытий Ti–Al–Si–N

Обнаружено влияние энергии напыляемых частиц на формирование мультислойной архитектуры покрытий с чередующимися слоями нанокристаллического TiN и аморфного Si$_{3}$N$_{4}$ с включениями нанокристаллического гексагонального AlN при ее значениях для ионов Ti, Al и Si, превышающих величины $\sim$317 $\cdot$ 10$^{-19}$, 267 $\cdot$ 10$^{-19}$ и 230 $\cdot$ 10$^{-19}$ J соответственно. При увеличении энергии ионов титана, бомбардирующих подложку, выше величины $\sim$512 $\cdot$ 10$^{-19}$ J в покрытии наблюдается фазовый переход неупорядоченной фазы TiN$_{x}$ в Ti$_{3}$N$_{2}$ и появление внутри нанокристаллических слоев TiN$_{x}$ толщиной $\sim$15 nm субслоев размером 2–3 nm. Максимальная твердость покрытий при этом составляет величину $\sim$54 GPa.