Формирование периодической дифракционной структуры на основе полиметилметакрилата с наночастицами серебра методом ионной имплантации

Предложена методика формирования оптических дифракционных элементов на поверхности полиметилметакрилата при его имплантации ионами серебра ($E$ = 30 keV, $D$ = 5.0 $\cdot$ 10$^{14}$ и 1.5 $\cdot$ 10$^{17}$ ion/сm$^{2}$, $I$= 2 $\mu$A/cm$^{2}$) через никелевую сетку (маску). В процессе имплантации в немаскированных областях облучаемого полимера были синтезированы наночастицы серебра. Формирование периодических поверхностных микроструктур при локальном распылении полимера во время имплантации контролировалось с помощью оптического микроскопа. Показана эффективность функционирования полученного дифракционного оптического элемента при его зондировании излучением полупроводникового лазера в видимом диапазоне.