Влияние термической обработки на физико-механические свойства тонкопленочных мембранных Al-структур различной формы

Впервые реализован и объяснен подход к модификации механических свойств за счет термических процессов рекристаллизации тонкопленочных структур алюминия в виде мембран квадратной, пятиугольной и круглой формы, полученных методом магнетронного осаждения. Эксперимент осуществлен по планарной кремниевой технологии. После термообработки при 450$^\circ$C в течение 1 h в вакуумной атмосфере выявлено изменение механических свойств (например, для мембраны круглой формы критическое давление разрыва уменьшилось от 4.9 до 4.0 atm, среднее изменение величины критического давления разрыва уменьшилось от $\pm$ 1.5 до $\pm$ 0.9 atm, двухосный модуль упругости уменьшился на 24 GPa) за счет изменения структурных свойств материала (размер зерен увеличился почти в 2 раза, шероховатость увеличилась с 76 $\pm$ 4 до 4480 $\pm$ 90 nm). Дополнительная термообработка позволила создать более надежные Al-мембраны.