Письма в Журнал технической физики
RUS  ENG    ЖУРНАЛЫ   ПЕРСОНАЛИИ   ОРГАНИЗАЦИИ   КОНФЕРЕНЦИИ   СЕМИНАРЫ   ВИДЕОТЕКА   ПАКЕТ AMSBIB  
Общая информация
Последний выпуск
Архив
Правила для авторов

Поиск публикаций
Поиск ссылок

RSS
Последний выпуск
Текущие выпуски
Архивные выпуски
Что такое RSS


Письма в ЖТФ:
Год:
Том:
Выпуск:
Страница:
Найти




Персональный вход:
Логин:
Пароль:
Запомнить пароль
Войти
Забыли пароль?
Регистрация

Письма в Журнал технической физики, 2015, том 41, выпуск 3, страницы 8–16 (Mi pjtf7616)  
Эта публикация цитируется в 3 научных статьях (всего в 3 статьях)

Измерение толщины полупроводниковых подложек в условиях нестационарной температуры с использованием низкокогерентного тандемного интерферометра

П. В. Волков, А. В. Горюнов, А. Ю. Лукьянов, А. Д. Тертышник

Институт физики микроструктур РАН, г. Нижний Новгород
PDF полного текста (315 kB) Список цитирования (3)
Аннотация: Предложен оригинальный метод измерения малых изменений толщины полупроводниковых структур в условиях нестационарной температуры, использующий принцип низкокогерентной тандемной интерферометрии. Достигнуто разрешение $\pm$ 2$^\circ$C по температуре и $\pm$ 2 nm по толщине.
Поступила в редакцию: 28.07.2014
Англоязычная версия:
Technical Physics Letters, 2015, Volume 41, Issue 2, Pages 110–112
DOI: https://doi.org/10.1134/S1063785015020133
Реферативные базы данных:
Тип публикации: Статья
Образец цитирования: П. В. Волков, А. В. Горюнов, А. Ю. Лукьянов, А. Д. Тертышник, “Измерение толщины полупроводниковых подложек в условиях нестационарной температуры с использованием низкокогерентного тандемного интерферометра”, Письма в ЖТФ, 41:3 (2015), 8–16; Tech. Phys. Lett., 41:2 (2015), 110–112
Цитирование в формате AMSBIB
\RBibitem{VolGorLuk15}
\by П.~В.~Волков, А.~В.~Горюнов, А.~Ю.~Лукьянов, А.~Д.~Тертышник
\paper Измерение толщины полупроводниковых подложек в условиях нестационарной температуры с использованием низкокогерентного тандемного интерферометра
\jour Письма в ЖТФ
\yr 2015
\vol 41
\issue 3
\pages 8--16
\mathnet{http://mi.mathnet.ru/pjtf7616}
\elib{https://elibrary.ru/item.asp?id=24196313}
\transl
\jour Tech. Phys. Lett.
\yr 2015
\vol 41
\issue 2
\pages 110--112
\crossref{https://doi.org/10.1134/S1063785015020133}
Образцы ссылок на эту страницу:
  • https://www.mathnet.ru/rus/pjtf7616
  • https://www.mathnet.ru/rus/pjtf/v41/i3/p8
    • Эта публикация цитируется в следующих 3 статьяx:
    Citing articles in Google Scholar: Russian citations, English citations
    Related articles in Google Scholar: Russian articles, English articles
    		Письма в Журнал технической физики Письма в Журнал технической физики
     
      Обратная связь:
    		  Пользовательское соглашение  Регистрация посетителей портала  Логотипы © Математический институт им. В. А. Стеклова РАН, 2025