Особенности атомного и электронного строения нитевидного кремния, сформированного на подложках с различным удельным сопротивлением по данным ультрамягкой рентгеновской эмиссионной спектроскопии

Массивы нитевидного кремния были получены методом жидкофазного металл-ассистированного химического травления с использованием подложек кристаллического кремния. Сформированные массивы и отдельные нити изучались методами растровой и просвечивающей электронной микроскопии. Электронное строение и фазовый состав поверхности и приповерхностных слоев сформированных массивов были изучены методом ультрамягкой рентгеновской спектроскопии. Показано, что морфологически более развитый образец, сформированный на подложке с низким удельным сопротивлением, значительно сильнее подвержен окислению с заметным образованием фаз промежуточных оксидов кремния. Массив нитей, сформированных на подложке с высоким удельным сопротивлением, также подвержен естественному окислению, но в существенно меньшей степени, а с увеличением глубины анализа содержит в основном фазу кристаллического кремния, составляющего объем сформированных нитей.