|
|
Письма в Журнал технической физики, 2015, том 41, выпуск 14, страницы 56–63
(Mi pjtf7779)
|
|
|
|
Эта публикация цитируется в 5 научных статьях (всего в 5 статьях)
Исследование свойств контактных покрытий на основе наноразмерных пленок рутения для МЭМС-коммутаторов
С. М. Карабанов, Н. А. Верлов, Д. В. Суворов, Г. П. Гололобов, Е. В. Сливкин Рязанский государственный радиотехнический университет
Аннотация:
Приведены результаты исследования коммутационных свойств контактных покрытий на основе наноразмерных пленок рутения, полученных методом электрохимического осаждения. Установлены закономерности изменения контактного сопротивления в зависимости от числа циклов коммутации при различных толщинах и шероховатости покрытия. По результатам эксперимента были установлены оптимальные параметры контактного покрытия, необходимые для обеспечения минимальной величины контактного сопротивления МЭМС-коммутатора (микроэлектромеханического коммутатора) в установившемся режиме.
Поступила в редакцию: 30.12.2015
Образец цитирования:
С. М. Карабанов, Н. А. Верлов, Д. В. Суворов, Г. П. Гололобов, Е. В. Сливкин, “Исследование свойств контактных покрытий на основе наноразмерных пленок рутения для МЭМС-коммутаторов”, Письма в ЖТФ, 41:14 (2015), 56–63; Tech. Phys. Lett., 41:7 (2015), 691–693
Образцы ссылок на эту страницу:
https://www.mathnet.ru/rus/pjtf7779 https://www.mathnet.ru/rus/pjtf/v41/i14/p56
|
|