Письма в Журнал технической физики
RUS  ENG    ЖУРНАЛЫ   ПЕРСОНАЛИИ   ОРГАНИЗАЦИИ   КОНФЕРЕНЦИИ   СЕМИНАРЫ   ВИДЕОТЕКА   ПАКЕТ AMSBIB  
Общая информация
Последний выпуск
Архив
Правила для авторов

Поиск публикаций
Поиск ссылок

RSS
Последний выпуск
Текущие выпуски
Архивные выпуски
Что такое RSS



Письма в ЖТФ:
Год:
Том:
Выпуск:
Страница:
Найти






Персональный вход:
Логин:
Пароль:
Запомнить пароль
Войти
Забыли пароль?
Регистрация


Письма в Журнал технической физики, 2015, том 41, выпуск 14, страницы 56–63 (Mi pjtf7779)  

Эта публикация цитируется в 5 научных статьях (всего в 5 статьях)

Исследование свойств контактных покрытий на основе наноразмерных пленок рутения для МЭМС-коммутаторов

С. М. Карабанов, Н. А. Верлов, Д. В. Суворов, Г. П. Гололобов, Е. В. Сливкин

Рязанский государственный радиотехнический университет
Аннотация: Приведены результаты исследования коммутационных свойств контактных покрытий на основе наноразмерных пленок рутения, полученных методом электрохимического осаждения. Установлены закономерности изменения контактного сопротивления в зависимости от числа циклов коммутации при различных толщинах и шероховатости покрытия. По результатам эксперимента были установлены оптимальные параметры контактного покрытия, необходимые для обеспечения минимальной величины контактного сопротивления МЭМС-коммутатора (микроэлектромеханического коммутатора) в установившемся режиме.
Поступила в редакцию: 30.12.2015
Англоязычная версия:
Technical Physics Letters, 2015, Volume 41, Issue 7, Pages 691–693
DOI: https://doi.org/10.1134/S1063785015070226
Реферативные базы данных:
Тип публикации: Статья
Образец цитирования: С. М. Карабанов, Н. А. Верлов, Д. В. Суворов, Г. П. Гололобов, Е. В. Сливкин, “Исследование свойств контактных покрытий на основе наноразмерных пленок рутения для МЭМС-коммутаторов”, Письма в ЖТФ, 41:14 (2015), 56–63; Tech. Phys. Lett., 41:7 (2015), 691–693
Цитирование в формате AMSBIB
\RBibitem{KarVerSuv15}
\by С.~М.~Карабанов, Н.~А.~Верлов, Д.~В.~Суворов, Г.~П.~Гололобов, Е.~В.~Сливкин
\paper Исследование свойств контактных покрытий на основе наноразмерных пленок рутения для МЭМС-коммутаторов
\jour Письма в ЖТФ
\yr 2015
\vol 41
\issue 14
\pages 56--63
\mathnet{http://mi.mathnet.ru/pjtf7779}
\elib{https://elibrary.ru/item.asp?id=24196480}
\transl
\jour Tech. Phys. Lett.
\yr 2015
\vol 41
\issue 7
\pages 691--693
\crossref{https://doi.org/10.1134/S1063785015070226}
Образцы ссылок на эту страницу:
  • https://www.mathnet.ru/rus/pjtf7779
  • https://www.mathnet.ru/rus/pjtf/v41/i14/p56
  • Эта публикация цитируется в следующих 5 статьяx:
    Citing articles in Google Scholar: Russian citations, English citations
    Related articles in Google Scholar: Russian articles, English articles
    Письма в Журнал технической физики Письма в Журнал технической физики
     
      Обратная связь:
     Пользовательское соглашение  Регистрация посетителей портала  Логотипы © Математический институт им. В. А. Стеклова РАН, 2025