Анализ электрических и оптических свойств наноразмерных пленок легированных оксидов цинка и индия, сформированных методом ВЧ-магнетронного распыления при комнатной температуре

Проведено сравнение оптических и электрических свойств наноразмерных пленок оксида индия, легированного оловом, и оксида цинка, легированного алюминием, сформированных на кремниевой и стеклянной подложках методом ВЧ-магнетронного распыления в условиях пониженной мощности и при комнатной температуре. Представлены зависимости удельного сопротивления и коэффициента пропускания оксидов от мощности ВЧ-излучения магнетрона. График зависимости удельного сопротивления пленок обоих оксидов от мощности распыления имеет нелинейный вид с минимумом в области 50 W, для оксида цинка, легированного алюминием, данный минимум обнаружен впервые. Минимальные значения удельного сопротивления для оксида цинка, легированного алюминием, составляют 2.9 $\cdot$ 10$^{-3}$ $\Omega$ $\cdot$ cm, для оксида индия, легированного оловом, – 5.4 $\cdot$ 10$^{-4}$ $\Omega$ $\cdot$ cm. Оба оксида характеризуются высокими значениями коэффициента пропускания, близкими к 90% в диапазоне длин волн 500–1000 nm.