Сверхтвердые оксидные покрытия, получаемые на титане при обработке токами высокой частоты

Исследованы твердость и модуль упругости оксидных покрытий рутила TiO$_2$, полученных на поверхности технического титана ВТ1-00 при обработке токами высокой частоты (ТВЧ). Выявлен механизм формирования сверхтвердых оксидных покрытий, которые характеризуются толщиной около 2–3 $\mu$m, субмикрометровой структурой, имеющей зерна призматической формы размером около 200–400 nm. Установлено, что в высокотемпературной области от 1000 до 1200$^\circ$C и при малой продолжительности обработки ТВЧ от 30 до 300 s оксидные покрытия характеризуются твердостью около 61–78 GPa и величиной модуля упругости от 330 до 680 GPa.