Письма в Журнал технической физики
RUS  ENG    ЖУРНАЛЫ   ПЕРСОНАЛИИ   ОРГАНИЗАЦИИ   КОНФЕРЕНЦИИ   СЕМИНАРЫ   ВИДЕОТЕКА   ПАКЕТ AMSBIB  
Общая информация
Последний выпуск
Архив
Правила для авторов

Поиск публикаций
Поиск ссылок

RSS
Последний выпуск
Текущие выпуски
Архивные выпуски
Что такое RSS


Письма в ЖТФ:
Год:
Том:
Выпуск:
Страница:
Найти




Персональный вход:
Логин:
Пароль:
Запомнить пароль
Войти
Забыли пароль?
Регистрация

Письма в Журнал технической физики, 2014, том 40, выпуск 15, страницы 30–37 (Mi pjtf8218)  
Эта публикация цитируется в 6 научных статьях (всего в 6 статьях)

Эпитаксия пленок Pb(Zr,Ti)O$_3$ на Ir/YSZ/Si при катодном распылении: влияние состава реакционного газа

В. Г. Бешенков, А. А. Бурлаков, А. Г. Знаменский, В. А. Марченко

Институт проблем технологии микроэлектроники и особочистых материалов РАН, Черноголовка
PDF полного текста (332 kB) Список цитирования (6)
Аннотация: Изучены особенности роста пленок PZT на гетероэпитаксиальных структурах Ir/YSZ/Si при катодном ВЧ-распылении керамической мишени в смесях аргона и кислорода. Показано, что распыление в газовой смеси с высоким парциальным давлением кислорода приводит к кристаллизации пленок PZT в метастабильной структуре пирохлора, тогда как распыление в аргоне или использование аргона на начальной стадии распыления приводит к пленкам PZT с равновесной структурой перовскита.
Поступила в редакцию: 13.03.2014
Англоязычная версия:
Technical Physics Letters, 2014, Volume 40, Issue 8, Pages 644–647
DOI: https://doi.org/10.1134/S1063785014080045
Реферативные базы данных:
Тип публикации: Статья
Образец цитирования: В. Г. Бешенков, А. А. Бурлаков, А. Г. Знаменский, В. А. Марченко, “Эпитаксия пленок Pb(Zr,Ti)O$_3$ на Ir/YSZ/Si при катодном распылении: влияние состава реакционного газа”, Письма в ЖТФ, 40:15 (2014), 30–37; Tech. Phys. Lett., 40:8 (2014), 644–647
Цитирование в формате AMSBIB
\RBibitem{BesBurZna14}
\by В.~Г.~Бешенков, А.~А.~Бурлаков, А.~Г.~Знаменский, В.~А.~Марченко
\paper Эпитаксия пленок Pb(Zr,Ti)O$_3$ на Ir/YSZ/Si при катодном распылении: влияние состава реакционного газа
\jour Письма в ЖТФ
\yr 2014
\vol 40
\issue 15
\pages 30--37
\mathnet{http://mi.mathnet.ru/pjtf8218}
\elib{https://elibrary.ru/item.asp?id=22019612}
\transl
\jour Tech. Phys. Lett.
\yr 2014
\vol 40
\issue 8
\pages 644--647
\crossref{https://doi.org/10.1134/S1063785014080045}
Образцы ссылок на эту страницу:
  • https://www.mathnet.ru/rus/pjtf8218
  • https://www.mathnet.ru/rus/pjtf/v40/i15/p30
    • Эта публикация цитируется в следующих 6 статьяx:
    Citing articles in Google Scholar: Russian citations, English citations
    Related articles in Google Scholar: Russian articles, English articles
    		Письма в Журнал технической физики Письма в Журнал технической физики
     
      Обратная связь:
    		  Пользовательское соглашение  Регистрация посетителей портала  Логотипы © Математический институт им. В. А. Стеклова РАН, 2025