О детонационно-индуцированной имплантации микрочастиц в подложку

Анализируется концепция использования волн детонации газообразных топлив для ускорения микрочастиц, наносимых на твердотельную подложку. Методами численного моделирования исследована динамика микрочастиц (размерами от 1.0 до 100 $\mu$m) в потоке за ударной волной, возникающей в результате выхода детонационной волны из канала в химически нейтральный газ и далее взаимодействующей с отстоящей от среза канала подложкой. Продемонстрирована тенденция к снижению эффективности процесса нанесения микрочастиц на подложку в импульсе детонационной волны с уменьшением размеров частиц, начиная с размеров порядка или меньше 10 $\mu$m (4–15 $\mu$g). На основе детального анализа динамики процесса предложено для повышения эффективности имплантации частиц малого размера использовать профилированные подложки.