Абсолютный эталон диффузионной длины и времени жизни неосновных носителей заряда в монокристаллическом кремнии

Существенное различие в сечениях рекомбинации электронов на комплексах Fe–B $\sigma_1$ и на активированных ионах железа $\sigma_2$ в монокристаллическом кремнии, легированном бором, использовано для независимого определения времени жизни электронов в эталоне $T_{st}$ с помощью метода поверхностной фотоэдс. Пары значений времени жизни электронов $T_1$ и $T_2$ до и после разложения комплексов Fe–B были измерены для каждого из 600 слитков при произвольно выбранном значении диффузионной длины $L_{cal}$ для калибрующего образца и размещены на плоскости $(T_1, T_2)$. На границе заполненной точками области представлены слитки, загрязненные только ионами железа, так что $T_2/T_1= \sigma_1/\sigma_2$. Истинные значения $L_{st}$ и $T_{st}$ калибрующего образца и отношение $\sigma_1/\sigma_2$ = 12.5 $\pm$ 0.5 определены с помощью подбора нового значения диффузионной длины для калибрующего образца, спрямляющего границу заполненной точками области после пересчета величин $T_1$ и $T_2$.