Письма в Журнал технической физики
RUS  ENG    ЖУРНАЛЫ   ПЕРСОНАЛИИ   ОРГАНИЗАЦИИ   КОНФЕРЕНЦИИ   СЕМИНАРЫ   ВИДЕОТЕКА   ПАКЕТ AMSBIB  
Общая информация
Последний выпуск
Архив
Правила для авторов

Поиск публикаций
Поиск ссылок

RSS
Последний выпуск
Текущие выпуски
Архивные выпуски
Что такое RSS


Письма в ЖТФ:
Год:
Том:
Выпуск:
Страница:
Найти




Персональный вход:
Логин:
Пароль:
Запомнить пароль
Войти
Забыли пароль?
Регистрация

Письма в Журнал технической физики, 2014, том 40, выпуск 24, страницы 22–30 (Mi pjtf8344)  
Эта публикация цитируется в 1 научной статье (всего в 1 статье)

Прецизионная калибровка толщин и состава слоев эпитаксиальных гетероструктур AlGaAs с вертикальным оптическим микрорезонатором

С. А. Блохинa, А. Г. Кузьменковab, А. Г. Гладышевab, А. П. Васильевab, А. А. Блохинac, М. А. Бобровa, Н. А. Малеевa, В. М. Устиновa

a Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук, г. Санкт-Петербург
b Научно-технологический центр микроэлектроники и субмикронных гетероструктур РАН, г. Санкт-Петербург
c Санкт-Петербургский государственный политехнический университет
PDF полного текста (270 kB) Список цитирования (1)
Аннотация: Исследована возможность определения фактических толщин и составов отдельных слоев гетероструктур AlGaAs с вертикальным микрорезонатором при совместном использовании методов спектроскопии оптического отражения и рентгеновской дифракции. Показано, что самосогласованное решение двух возникающих обратных задач при использовании специальной конструкции тестовой гетероструктуры частично снимает проблему неопределенности решения и повышает абсолютную точность определения параметров отдельных эпитаксиальных слоев.
Поступила в редакцию: 05.08.2014
Англоязычная версия:
Technical Physics Letters, 2014, Volume 40, Issue 12, Pages 1098–1102
DOI: https://doi.org/10.1134/S1063785014120190
Реферативные базы данных:
Тип публикации: Статья
Образец цитирования: С. А. Блохин, А. Г. Кузьменков, А. Г. Гладышев, А. П. Васильев, А. А. Блохин, М. А. Бобров, Н. А. Малеев, В. М. Устинов, “Прецизионная калибровка толщин и состава слоев эпитаксиальных гетероструктур AlGaAs с вертикальным оптическим микрорезонатором”, Письма в ЖТФ, 40:24 (2014), 22–30; Tech. Phys. Lett., 40:12 (2014), 1098–1102
Цитирование в формате AMSBIB
\RBibitem{BloKuzGla14}
\by С.~А.~Блохин, А.~Г.~Кузьменков, А.~Г.~Гладышев, А.~П.~Васильев, А.~А.~Блохин, М.~А.~Бобров, Н.~А.~Малеев, В.~М.~Устинов
\paper Прецизионная калибровка толщин и состава слоев эпитаксиальных гетероструктур AlGaAs с вертикальным оптическим микрорезонатором
\jour Письма в ЖТФ
\yr 2014
\vol 40
\issue 24
\pages 22--30
\mathnet{http://mi.mathnet.ru/pjtf8344}
\elib{https://elibrary.ru/item.asp?id=22019740}
\transl
\jour Tech. Phys. Lett.
\yr 2014
\vol 40
\issue 12
\pages 1098--1102
\crossref{https://doi.org/10.1134/S1063785014120190}
Образцы ссылок на эту страницу:
  • https://www.mathnet.ru/rus/pjtf8344
  • https://www.mathnet.ru/rus/pjtf/v40/i24/p22
    • Эта публикация цитируется в следующих 1 статьяx:
    Citing articles in Google Scholar: Russian citations, English citations
    Related articles in Google Scholar: Russian articles, English articles
    		Письма в Журнал технической физики Письма в Журнал технической физики
     
      Обратная связь:
    		  Пользовательское соглашение  Регистрация посетителей портала  Логотипы © Математический институт им. В. А. Стеклова РАН, 2025