|
|
Письма в Журнал технической физики, 2013, том 39, выпуск 3, страницы 26–32
(Mi pjtf8398)
|
|
|
|
Эта публикация цитируется в 3 научных статьях (всего в 3 статьях)
Синтез наноразмерных слоев нитрида алюминия
Л. А. Акашевab, Н. А. Поповab, В. А. Кочедыковab, В. Г. Шевченкоab a Институт химии твердого тела УрО РАН, г. Екатеринбург
b Институт высокотемпературной электрохимии УРО РАН, г. Екатеpинбуpг
Аннотация:
Эллипсометрическим методом исследовано взаимодействие поверхности поликристаллического алюминия с азотом при медленном нагреве до температуры 623$^\circ$C и давлении 1.25 atm. Показано, что процесс образования наноразмерного сплошного слоя нитрида алюминия происходит в интервале температур 520–580$^\circ$C и выше. Максимальная толщина синтезированного наноразмерного слоя нитрида алюминия составляла 32 nm. Образование нитрида на поверхности алюминия подтверждено методом ИК-спектроскопии на порошках с удельной поверхностью 6.4 m$^2$/g.
Поступила в редакцию: 03.09.2012
Образец цитирования:
Л. А. Акашев, Н. А. Попов, В. А. Кочедыков, В. Г. Шевченко, “Синтез наноразмерных слоев нитрида алюминия”, Письма в ЖТФ, 39:3 (2013), 26–32; Tech. Phys. Lett., 39:2 (2013), 154–156
Образцы ссылок на эту страницу:
https://www.mathnet.ru/rus/pjtf8398 https://www.mathnet.ru/rus/pjtf/v39/i3/p26
|
|