|
|
Письма в Журнал технической физики, 2013, том 39, выпуск 6, страницы 1–8
(Mi pjtf8447)
|
|
|
|
Эта публикация цитируется в 2 научных статьях (всего в 2 статьях)
Эпитаксия GaN в полуполярном направлении на подложке Si(210)
В. Н. Бессоловabc, Е. В. Коненковаabc, С. А. Кукушкинabc, В. И. Николаевabc, А. В. Осиповabc, Ш. Шарофидиновabc, М. П. Щегловabc a Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук, г. Санкт-Петербург
b Институт проблем машиноведения РАН, г. Санкт-Петербург
c ООО "Совершенные кристаллы", г. Санкт-Петербург
Аннотация:
Излагается идея нового технологического метода выращивания слоев нитрида галлия в полуполярном направлении газофазной эпитаксией в хлоридной системе (HVPE). В качестве подложки предложен Si(210), а в качестве буферных слоев использованы: в начале – 3C-SiC, а затем – AlN. Впервые экспериментально показано, что в условиях анизотропной деформации гетероструктуры GaN/AlN/3C-SiC/Si(210) происходит рост GaN-слоя в полуполярных направлениях.
Поступила в редакцию: 09.10.2012
Образец цитирования:
В. Н. Бессолов, Е. В. Коненкова, С. А. Кукушкин, В. И. Николаев, А. В. Осипов, Ш. Шарофидинов, М. П. Щеглов, “Эпитаксия GaN в полуполярном направлении на подложке Si(210)”, Письма в ЖТФ, 39:6 (2013), 1–8; Tech. Phys. Lett., 39:3 (2013), 274–276
Образцы ссылок на эту страницу:
https://www.mathnet.ru/rus/pjtf8447 https://www.mathnet.ru/rus/pjtf/v39/i6/p1
|
|