Письма в Журнал технической физики
RUS  ENG    ЖУРНАЛЫ   ПЕРСОНАЛИИ   ОРГАНИЗАЦИИ   КОНФЕРЕНЦИИ   СЕМИНАРЫ   ВИДЕОТЕКА   ПАКЕТ AMSBIB  
Общая информация
Последний выпуск
Архив
Правила для авторов

Поиск публикаций
Поиск ссылок

RSS
Последний выпуск
Текущие выпуски
Архивные выпуски
Что такое RSS


Письма в ЖТФ:
Год:
Том:
Выпуск:
Страница:
Найти




Персональный вход:
Логин:
Пароль:
Запомнить пароль
Войти
Забыли пароль?
Регистрация

Письма в Журнал технической физики, 2013, том 39, выпуск 9, страницы 1–8 (Mi pjtf8483)  
Особенности структурирования поверхности кристаллов кремния (100) при СВЧ плазменной обработке в различных газовых средах

В. Я. Шаныгин, Р. К. Яфаров

Саратовский филиал Института радиотехники и электроники им. В. А. Котельникова РАН
PDF полного текста (389 kB)
Аннотация: Исследованы закономерности влияния режимов СВЧ плазменной обработки на наноморфологию поверхности монокристаллов кремния кристаллографической ориентации (100) с естественным оксидным покрытием. Рассмотрены модельные механизмы процессов наноструктурирования поверхности при плазменной обработке в газовых средах с различной селективностью к гетероструктурному материалу подложки.
Поступила в редакцию: 29.05.2012
Англоязычная версия:
Technical Physics Letters, 2013, Volume 39, Issue 5, Pages 405–408
DOI: https://doi.org/10.1134/S1063785013050106
Реферативные базы данных:
Тип публикации: Статья
Образец цитирования: В. Я. Шаныгин, Р. К. Яфаров, “Особенности структурирования поверхности кристаллов кремния (100) при СВЧ плазменной обработке в различных газовых средах”, Письма в ЖТФ, 39:9 (2013), 1–8; Tech. Phys. Lett., 39:5 (2013), 405–408
Цитирование в формате AMSBIB
\RBibitem{ShaYaf13}
\by В.~Я.~Шаныгин, Р.~К.~Яфаров
\paper Особенности структурирования поверхности кристаллов кремния (100) при СВЧ плазменной обработке в различных газовых средах
\jour Письма в ЖТФ
\yr 2013
\vol 39
\issue 9
\pages 1--8
\mathnet{http://mi.mathnet.ru/pjtf8483}
\elib{https://elibrary.ru/item.asp?id=20328167}
\transl
\jour Tech. Phys. Lett.
\yr 2013
\vol 39
\issue 5
\pages 405--408
\crossref{https://doi.org/10.1134/S1063785013050106}
Образцы ссылок на эту страницу:
  • https://www.mathnet.ru/rus/pjtf8483
  • https://www.mathnet.ru/rus/pjtf/v39/i9/p1
    • Citing articles in Google Scholar: Russian citations, English citations
    Related articles in Google Scholar: Russian articles, English articles
    		Письма в Журнал технической физики Письма в Журнал технической физики
     
      Обратная связь:
    		  Пользовательское соглашение  Регистрация посетителей портала  Логотипы © Математический институт им. В. А. Стеклова РАН, 2025