Формирование периодических дифракционных плазмонных наноструктур с имплантированными наночастицами меди методом локального ионного травления кварцевого стекла

Проведена низкоэнергетическая имплантация ионами Cu$^+$ с энергией 40 keV при дозе 7.5 $\cdot$ 10$^{16}$ ion/cm$^2$ и плотности тока в ионном пучке 5 $\mu$A/cm$^2$ кварцевого стекла через поверхностную металлическую проволочную маску с квадратными отверстиями $\sim$40 $\mu$m. Было установлено образование наночастиц меди в стекле по появлению характеристического плазмонного оптического поглощения и регистрацией частиц на атомно-силовом микроскопе. Формирование периодических поверхностных микроструктур при локальном травлении кварцевого стекла во время имплантации наблюдалось с помощью сканирующего электронного микроскопа. Эффективность функционирования дифракционного оптического плазмонного элемента на микроструктурах кварцевого стекла с металлическими наночастицами меди показана при его зондировании излучением гелий-неонового лазера.