|
|
Письма в Журнал технической физики, 2013, том 39, выпуск 14, страницы 69–76
(Mi pjtf8553)
|
|
|
|
Эта публикация цитируется в 6 научных статьях (всего в 6 статьях)
Влияние освещения на параметры полимерного покрытия, осаждаемого из раствора на полупроводниковую подложку
И. В. Малярa, S. Santerb, С. В. Стецюраa a Саратовский государственный университет им. Н. Г. Чернышевского
b Potsdam University, 14476 Potsdam-Golm, Germany
Аннотация:
Обнаружено и исследовано влияние освещения на толщину и шероховатость монослоев из поликатионных молекул полиэтиленимина, осаждаемых из раствора на кремниевые подложки. Освещение с длиной волны из области собственного поглощения подложки во время адсорбции полиэтиленимина приводило одновременно к снижению шероховатости и интегральной толщины органического покрытия на кремниевых подложках с электронным и дырочным типами проводимости.
Поступила в редакцию: 01.03.2013
Образец цитирования:
И. В. Маляр, S. Santer, С. В. Стецюра, “Влияние освещения на параметры полимерного покрытия, осаждаемого из раствора на полупроводниковую подложку”, Письма в ЖТФ, 39:14 (2013), 69–76; Tech. Phys. Lett., 39:7 (2013), 656–659
Образцы ссылок на эту страницу:
https://www.mathnet.ru/rus/pjtf8553 https://www.mathnet.ru/rus/pjtf/v39/i14/p69
|
|