Оптимизация карботермического синтеза массивов микро- и наностержней оксида цинка и их морфометрических параметров

Исследовано влияние буферного давления Ar и расстояния до источника вещества на морфометрические параметры массивов вертикально ориентированных нано- и микростержней ZnO, синтезированных карботермическим методом на подложках Si(100) с тонкопленочным подслоем ZnO. Проведены системные исследования бескаталитического роста, а также влияния катализаторов роста, таких как Au и Cu, на процесс формирования и размеры стержней. Продемонстрировано, что катализатор играет роль лишь на начальном этапе, и не участвует в дальнейшем росте стержней в применяемых условиях синтеза. Показана возможность управления средними диаметрами, длинами и плотностью поверхностного распределения стержней в диапазонах 100–300 nm, 1.5–9 $\mu$m и 2.8–5.3 $\cdot$ 10$^8$ cm$^{-2}$ соответственно.