Письма в Журнал технической физики
RUS  ENG    ЖУРНАЛЫ   ПЕРСОНАЛИИ   ОРГАНИЗАЦИИ   КОНФЕРЕНЦИИ   СЕМИНАРЫ   ВИДЕОТЕКА   ПАКЕТ AMSBIB  
Общая информация
Последний выпуск
Архив
Правила для авторов

Поиск публикаций
Поиск ссылок

RSS
Последний выпуск
Текущие выпуски
Архивные выпуски
Что такое RSS



Письма в ЖТФ:
Год:
Том:
Выпуск:
Страница:
Найти






Персональный вход:
Логин:
Пароль:
Запомнить пароль
Войти
Забыли пароль?
Регистрация


Письма в Журнал технической физики, 2013, том 39, выпуск 18, страницы 78–86 (Mi pjtf8601)  

Эта публикация цитируется в 1 научной статье (всего в 1 статье)

Высокотемпературный детектор водорода со структурой Pt/Pt+/$n$-6H–SiC

В. В. Зуевab, С. Н. Григорьевab, Р. И. Романовab, В. Ю. Фоминскийab

a Национальный исследовательский ядерный университет "МИФИ", г. Москва
b Московский государственный технологический университет "Станкин"
Аннотация: Для формирования газочувствительных структур на монокристаллах $n$-6H–SiC использовался комбинированный метод имплантации Pt$^+$ и последующего осаждения пленки Pt из импульсной лазерной плазмы. Высокотемпературная имплантация обеспечивала формирование слоя, улучшающего сцепление пленки с подложкой, а также изменяющего параметры токопрохождения под воздействием атомарного водорода, образующегося при взаимодействии H$_2$ с каталитически активной Pt. Нарушение слошности пленки Pt в условиях повышенных температур функционирования датчика ($\sim$ 500$^\circ$C) не оказывало явного негативного влияния на сенсорные свойства структуры Pt/Pt+/SiC. Аналогичные эффекты в традиционно используемой диодной структуре Pt/SiC обусловливали сильную деградацию ее функциональных характеристик.
Поступила в редакцию: 09.04.2013
Англоязычная версия:
Technical Physics Letters, 2013, Volume 39, Issue 9, Pages 834–837
DOI: https://doi.org/10.1134/S1063785013090253
Реферативные базы данных:
Тип публикации: Статья
Образец цитирования: В. В. Зуев, С. Н. Григорьев, Р. И. Романов, В. Ю. Фоминский, “Высокотемпературный детектор водорода со структурой Pt/Pt+/$n$-6H–SiC”, Письма в ЖТФ, 39:18 (2013), 78–86; Tech. Phys. Lett., 39:9 (2013), 834–837
Цитирование в формате AMSBIB
\RBibitem{ZueGriRom13}
\by В.~В.~Зуев, С.~Н.~Григорьев, Р.~И.~Романов, В.~Ю.~Фоминский
\paper Высокотемпературный детектор водорода со структурой Pt/Pt+/$n$-6\emph{H}--SiC
\jour Письма в ЖТФ
\yr 2013
\vol 39
\issue 18
\pages 78--86
\mathnet{http://mi.mathnet.ru/pjtf8601}
\elib{https://elibrary.ru/item.asp?id=20328334}
\transl
\jour Tech. Phys. Lett.
\yr 2013
\vol 39
\issue 9
\pages 834--837
\crossref{https://doi.org/10.1134/S1063785013090253}
Образцы ссылок на эту страницу:
  • https://www.mathnet.ru/rus/pjtf8601
  • https://www.mathnet.ru/rus/pjtf/v39/i18/p78
  • Эта публикация цитируется в следующих 1 статьяx:
    Citing articles in Google Scholar: Russian citations, English citations
    Related articles in Google Scholar: Russian articles, English articles
    Письма в Журнал технической физики Письма в Журнал технической физики
     
      Обратная связь:
     Пользовательское соглашение  Регистрация посетителей портала  Логотипы © Математический институт им. В. А. Стеклова РАН, 2025