Письма в Журнал технической физики
RUS  ENG    ЖУРНАЛЫ   ПЕРСОНАЛИИ   ОРГАНИЗАЦИИ   КОНФЕРЕНЦИИ   СЕМИНАРЫ   ВИДЕОТЕКА   ПАКЕТ AMSBIB  
Общая информация
Последний выпуск
Архив
Правила для авторов

Поиск публикаций
Поиск ссылок

RSS
Последний выпуск
Текущие выпуски
Архивные выпуски
Что такое RSS


Письма в ЖТФ:
Год:
Том:
Выпуск:
Страница:
Найти




Персональный вход:
Логин:
Пароль:
Запомнить пароль
Войти
Забыли пароль?
Регистрация

Письма в Журнал технической физики, 2013, том 39, выпуск 19, страницы 32–40 (Mi pjtf8607)  
Эта публикация цитируется в 14 научных статьях (всего в 14 статьях)

Шероховатость пленок аморфного, поликристаллического кремния и поликристаллического кремния с полусферическими зернами

А. В. Новакab, В. Р. Новакab

a Национальный исследовательский университет "МИЭТ"
b Научно-исследовательский институт физических проблем им. Ф.В. Лукина, Зеленоград
PDF полного текста (377 kB) Список цитирования (14)
Аннотация: Изучены шероховатость, пространственные и корреляционные свойства поверхности для трех характерных типов LPCVD пленок кремния: аморфных и поликристаллических, имеющих относительно “гладкую” поверхность, и поликристаллических пленок с полусферическими зернами (HSG-Si), имеющих значительную шероховатость поверхности, посредством атомно-силовой микроскопии. Из анализа корреляционной функции и функции спектральной плотности мощности найдено, что для описания морфологии пленок аморфного и поликристаллического кремния подходит модель самоаффинной поверхности, тогда как для HSG-Si пленок – модель “холмообразной” поверхности.
Поступила в редакцию: 14.05.2013
Англоязычная версия:
Technical Physics Letters, 2013, Volume 39, Issue 10, Pages 858–861
DOI: https://doi.org/10.1134/S106378501310009X
Реферативные базы данных:
Тип публикации: Статья
Образец цитирования: А. В. Новак, В. Р. Новак, “Шероховатость пленок аморфного, поликристаллического кремния и поликристаллического кремния с полусферическими зернами”, Письма в ЖТФ, 39:19 (2013), 32–40; Tech. Phys. Lett., 39:10 (2013), 858–861
Цитирование в формате AMSBIB
\RBibitem{NovNov13}
\by А.~В.~Новак, В.~Р.~Новак
\paper Шероховатость пленок аморфного, поликристаллического кремния и поликристаллического кремния с полусферическими зернами
\jour Письма в ЖТФ
\yr 2013
\vol 39
\issue 19
\pages 32--40
\mathnet{http://mi.mathnet.ru/pjtf8607}
\elib{https://elibrary.ru/item.asp?id=20328345}
\transl
\jour Tech. Phys. Lett.
\yr 2013
\vol 39
\issue 10
\pages 858--861
\crossref{https://doi.org/10.1134/S106378501310009X}
Образцы ссылок на эту страницу:
  • https://www.mathnet.ru/rus/pjtf8607
  • https://www.mathnet.ru/rus/pjtf/v39/i19/p32
    • Эта публикация цитируется в следующих 14 статьяx:
    Citing articles in Google Scholar: Russian citations, English citations
    Related articles in Google Scholar: Russian articles, English articles
    		Письма в Журнал технической физики Письма в Журнал технической физики
     
      Обратная связь:
    		  Пользовательское соглашение  Регистрация посетителей портала  Логотипы © Математический институт им. В. А. Стеклова РАН, 2025