Письма в Журнал технической физики
RUS  ENG    ЖУРНАЛЫ   ПЕРСОНАЛИИ   ОРГАНИЗАЦИИ   КОНФЕРЕНЦИИ   СЕМИНАРЫ   ВИДЕОТЕКА   ПАКЕТ AMSBIB  
Общая информация
Последний выпуск
Архив
Правила для авторов

Поиск публикаций
Поиск ссылок

RSS
Последний выпуск
Текущие выпуски
Архивные выпуски
Что такое RSS


Письма в ЖТФ:
Год:
Том:
Выпуск:
Страница:
Найти




Персональный вход:
Логин:
Пароль:
Запомнить пароль
Войти
Забыли пароль?
Регистрация

Письма в Журнал технической физики, 2013, том 39, выпуск 19, страницы 41–50 (Mi pjtf8608)  
Эта публикация цитируется в 1 научной статье (всего в 1 статье)

Изменения элементного состава и микроструктуры мишени YBa$_2$Cu$_3$O$_{7-\delta}$ при магнетронном распылении

Д. В. Мастеров, М. Н. Дроздов, Ю. Н. Дроздов, С. А. Павлов, А. Е. Парафин, П. А. Юнин

Институт физики микроструктур РАН, г. Нижний Новгород
PDF полного текста (521 kB) Список цитирования (1)
Аннотация: Методом рентгенофазового анализа и вторично-ионной масс-спектрометрии исследованы мишени высокотемпературного сверхпроводника YBa$_2$Cu$_3$O$_{7-\delta}$, подвергшиеся ионно-плазменному распылению в магнетронной напылительной системе. Установлено, что в процессе магнетронного распыления на постоянном токе происходят диффузионное обеднение по кислороду и структурная перестройка поверхности мишени, вызываемые радиационным и тепловым воздействием бомбардирующих ионов. Предполагается, что такие изменения в мишени являются причиной снижения скорости роста YBa$_2$Cu$_3$O$_{7-\delta}$ пленок.
Поступила в редакцию: 13.05.2013
Англоязычная версия:
Technical Physics Letters, 2013, Volume 39, Issue 10, Pages 862–865
DOI: https://doi.org/10.1134/S1063785013100076
Реферативные базы данных:
Тип публикации: Статья
Образец цитирования: Д. В. Мастеров, М. Н. Дроздов, Ю. Н. Дроздов, С. А. Павлов, А. Е. Парафин, П. А. Юнин, “Изменения элементного состава и микроструктуры мишени YBa$_2$Cu$_3$O$_{7-\delta}$ при магнетронном распылении”, Письма в ЖТФ, 39:19 (2013), 41–50; Tech. Phys. Lett., 39:10 (2013), 862–865
Цитирование в формате AMSBIB
\RBibitem{MasDroDro13}
\by Д.~В.~Мастеров, М.~Н.~Дроздов, Ю.~Н.~Дроздов, С.~А.~Павлов, А.~Е.~Парафин, П.~А.~Юнин
\paper Изменения элементного состава и микроструктуры мишени YBa$_2$Cu$_3$O$_{7-\delta}$ при магнетронном распылении
\jour Письма в ЖТФ
\yr 2013
\vol 39
\issue 19
\pages 41--50
\mathnet{http://mi.mathnet.ru/pjtf8608}
\elib{https://elibrary.ru/item.asp?id=20328347}
\transl
\jour Tech. Phys. Lett.
\yr 2013
\vol 39
\issue 10
\pages 862--865
\crossref{https://doi.org/10.1134/S1063785013100076}
Образцы ссылок на эту страницу:
  • https://www.mathnet.ru/rus/pjtf8608
  • https://www.mathnet.ru/rus/pjtf/v39/i19/p41
    • Эта публикация цитируется в следующих 1 статьяx:
    Citing articles in Google Scholar: Russian citations, English citations
    Related articles in Google Scholar: Russian articles, English articles
    		Письма в Журнал технической физики Письма в Журнал технической физики
     
      Обратная связь:
    		  Пользовательское соглашение  Регистрация посетителей портала  Логотипы © Математический институт им. В. А. Стеклова РАН, 2025