Письма в Журнал технической физики
RUS  ENG    ЖУРНАЛЫ   ПЕРСОНАЛИИ   ОРГАНИЗАЦИИ   КОНФЕРЕНЦИИ   СЕМИНАРЫ   ВИДЕОТЕКА   ПАКЕТ AMSBIB  
Общая информация
Последний выпуск
Архив
Правила для авторов

Поиск публикаций
Поиск ссылок

RSS
Последний выпуск
Текущие выпуски
Архивные выпуски
Что такое RSS



Письма в ЖТФ:
Год:
Том:
Выпуск:
Страница:
Найти






Персональный вход:
Логин:
Пароль:
Запомнить пароль
Войти
Забыли пароль?
Регистрация


Письма в Журнал технической физики, 2013, том 39, выпуск 22, страницы 17–24 (Mi pjtf8640)  

Эта публикация цитируется в 12 научных статьях (всего в 12 статьях)

Зигзагообразные структуры, полученные анизотропным травлением макропористого кремния

А. В. Черниенко, Е. В. Астрова, Ю. А. Жарова

Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук, г. Санкт-Петербург
Аннотация: Продемонстрировано получение высокоаспектных структур с тонкими гофрированными стенками путем обработки макропристого кремния с тригональной решеткой в анизотропных травителях. Для этого перед электрохимическим травлением создается определенная ориентация рисунка затравочных ямок относительно кристаллографических осей и применяется определенный состав раствора для обработки макропор после анодирования. Обсуждается возможность применения зигзагообразных структур в качестве анодов литий-ионных аккумуляторов.
Поступила в редакцию: 23.05.2013
Англоязычная версия:
Technical Physics Letters, 2013, Volume 39, Issue 11, Pages 990–993
DOI: https://doi.org/10.1134/S1063785013110175
Реферативные базы данных:
Тип публикации: Статья
Образец цитирования: А. В. Черниенко, Е. В. Астрова, Ю. А. Жарова, “Зигзагообразные структуры, полученные анизотропным травлением макропористого кремния”, Письма в ЖТФ, 39:22 (2013), 17–24; Tech. Phys. Lett., 39:11 (2013), 990–993
Цитирование в формате AMSBIB
\RBibitem{ParAstZha13}
\by А.~В.~Черниенко, Е.~В.~Астрова, Ю.~А.~Жарова
\paper Зигзагообразные структуры, полученные анизотропным травлением макропористого кремния
\jour Письма в ЖТФ
\yr 2013
\vol 39
\issue 22
\pages 17--24
\mathnet{http://mi.mathnet.ru/pjtf8640}
\elib{https://elibrary.ru/item.asp?id=20328400}
\transl
\jour Tech. Phys. Lett.
\yr 2013
\vol 39
\issue 11
\pages 990--993
\crossref{https://doi.org/10.1134/S1063785013110175}
Образцы ссылок на эту страницу:
  • https://www.mathnet.ru/rus/pjtf8640
  • https://www.mathnet.ru/rus/pjtf/v39/i22/p17
  • Эта публикация цитируется в следующих 12 статьяx:
    Citing articles in Google Scholar: Russian citations, English citations
    Related articles in Google Scholar: Russian articles, English articles
    Письма в Журнал технической физики Письма в Журнал технической физики
     
      Обратная связь:
     Пользовательское соглашение  Регистрация посетителей портала  Логотипы © Математический институт им. В. А. Стеклова РАН, 2025