|
|
Письма в Журнал технической физики, 2013, том 39, выпуск 22, страницы 17–24
(Mi pjtf8640)
|
|
|
|
Эта публикация цитируется в 12 научных статьях (всего в 12 статьях)
Зигзагообразные структуры, полученные анизотропным травлением макропористого кремния
А. В. Черниенко, Е. В. Астрова, Ю. А. Жарова Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук, г. Санкт-Петербург
Аннотация:
Продемонстрировано получение высокоаспектных структур с тонкими гофрированными стенками путем обработки макропристого кремния с тригональной решеткой в анизотропных травителях. Для этого перед электрохимическим травлением создается определенная ориентация рисунка затравочных ямок относительно кристаллографических осей и применяется определенный состав раствора для обработки макропор после анодирования. Обсуждается возможность применения зигзагообразных структур в качестве анодов литий-ионных аккумуляторов.
Поступила в редакцию: 23.05.2013
Образец цитирования:
А. В. Черниенко, Е. В. Астрова, Ю. А. Жарова, “Зигзагообразные структуры, полученные анизотропным травлением макропористого кремния”, Письма в ЖТФ, 39:22 (2013), 17–24; Tech. Phys. Lett., 39:11 (2013), 990–993
Образцы ссылок на эту страницу:
https://www.mathnet.ru/rus/pjtf8640 https://www.mathnet.ru/rus/pjtf/v39/i22/p17
|
|