Письма в Журнал технической физики
RUS  ENG    ЖУРНАЛЫ   ПЕРСОНАЛИИ   ОРГАНИЗАЦИИ   КОНФЕРЕНЦИИ   СЕМИНАРЫ   ВИДЕОТЕКА   ПАКЕТ AMSBIB  
Общая информация
Последний выпуск
Архив
Правила для авторов

Поиск публикаций
Поиск ссылок

RSS
Последний выпуск
Текущие выпуски
Архивные выпуски
Что такое RSS


Письма в ЖТФ:
Год:
Том:
Выпуск:
Страница:
Найти




Персональный вход:
Логин:
Пароль:
Запомнить пароль
Войти
Забыли пароль?
Регистрация

Письма в Журнал технической физики, 2012, том 38, выпуск 5, страницы 63–70 (Mi pjtf8789)  
Эта публикация цитируется в 2 научных статьях (всего в 2 статьях)

Влияние кластеризации потока на толщину пленок, осажденных при магнетронном и импульсном лазерном распылении металлооксидов

В. Д. Окуневa, S. J. Lewandowskib, R. Szymczakb, H. Szymczakb, Т. А. Дьяченкоa, В. А. Исаевa, Ю. М. Николаенкоa, A. Abal'oshevb, P. Gierlowskib, H. Bielska-Lewandowskab

a Донецкий физико-технический институт им. А. А. Галкина, г. Донецк
b Institute of Physics, Polish Academy of Sciences, Warszawa, Poland
PDF полного текста (500 kB) Список цитирования (2)
Аннотация: Изучена связь между кластеризацией потока вещества и толщиной пленок при магнетронном и импульсном лазерном распылении мишеней La$_{0.7}$Sr$_{0.3}$MnO$_3$ и YBa$_2$Cu$_3$O$_{7-\delta}$. Установлено, что для магнетронного распыления из-за низкой концентрации атомов (ионов) распыленного материала кластеризация потока в эксперименте не выявляется. В соответствии с расчетом для случая невзаимодействующих атомов наблюдается экспоненциальное уменьшение толщины пленок $(h)$ с увеличением расстояния от мишени $(L)$. Для импульсного лазерного распыления, при котором концентрация распыленного вещества в плазме на 4 порядка выше, наблюдается резкое отклонение зависимости $h(L)$ от расчетной при расстояниях от мишени, больших 6.2 cm, что обусловлено началом интенсивной кластеризации потока лазерной плазмы.
Поступила в редакцию: 04.08.2011
Англоязычная версия:
Technical Physics Letters, 2012, Volume 38, Issue 3, Pages 231–234
DOI: https://doi.org/10.1134/S1063785012030121
Реферативные базы данных:
Тип публикации: Статья
Образец цитирования: В. Д. Окунев, S. J. Lewandowski, R. Szymczak, H. Szymczak, Т. А. Дьяченко, В. А. Исаев, Ю. М. Николаенко, A. Abal'oshev, P. Gierlowski, H. Bielska-Lewandowska, “Влияние кластеризации потока на толщину пленок, осажденных при магнетронном и импульсном лазерном распылении металлооксидов”, Письма в ЖТФ, 38:5 (2012), 63–70; Tech. Phys. Lett., 38:3 (2012), 231–234
Цитирование в формате AMSBIB
\RBibitem{OkuLewSzy12}
\by В.~Д.~Окунев, S.~J.~Lewandowski, R.~Szymczak, H.~Szymczak, Т.~А.~Дьяченко, В.~А.~Исаев, Ю.~М.~Николаенко, A.~Abal'oshev, P.~Gierlowski, H.~Bielska-Lewandowska
\paper Влияние кластеризации потока на толщину пленок, осажденных при магнетронном и импульсном лазерном распылении металлооксидов
\jour Письма в ЖТФ
\yr 2012
\vol 38
\issue 5
\pages 63--70
\mathnet{http://mi.mathnet.ru/pjtf8789}
\elib{https://elibrary.ru/item.asp?id=20327814}
\transl
\jour Tech. Phys. Lett.
\yr 2012
\vol 38
\issue 3
\pages 231--234
\crossref{https://doi.org/10.1134/S1063785012030121}
Образцы ссылок на эту страницу:
  • https://www.mathnet.ru/rus/pjtf8789
  • https://www.mathnet.ru/rus/pjtf/v38/i5/p63
    • Эта публикация цитируется в следующих 2 статьяx:
    Citing articles in Google Scholar: Russian citations, English citations
    Related articles in Google Scholar: Russian articles, English articles
    		Письма в Журнал технической физики Письма в Журнал технической физики
     
      Обратная связь:
    		  Пользовательское соглашение  Регистрация посетителей портала  Логотипы © Математический институт им. В. А. Стеклова РАН, 2025