Письма в Журнал технической физики
RUS  ENG    ЖУРНАЛЫ   ПЕРСОНАЛИИ   ОРГАНИЗАЦИИ   КОНФЕРЕНЦИИ   СЕМИНАРЫ   ВИДЕОТЕКА   ПАКЕТ AMSBIB  
Общая информация
Последний выпуск
Архив
Правила для авторов

Поиск публикаций
Поиск ссылок

RSS
Последний выпуск
Текущие выпуски
Архивные выпуски
Что такое RSS


Письма в ЖТФ:
Год:
Том:
Выпуск:
Страница:
Найти




Персональный вход:
Логин:
Пароль:
Запомнить пароль
Войти
Забыли пароль?
Регистрация

Письма в Журнал технической физики, 2012, том 38, выпуск 6, страницы 9–14 (Mi pjtf8797)  
Эта публикация цитируется в 11 научных статьях (всего в 11 статьях)

Синтез алмазных пленок в сильноточном тлеющем разряде переменного тока

С. А. Линник, А. В. Гайдайчук

Институт физики высоких технологий Национального исследовательского Томского политехнического университета
PDF полного текста (438 kB) Список цитирования (11)
Аннотация: Приведены результаты экспериментов по осаждению поликристаллических алмазных пленок на подложки из Si, Ti, Mo с использованием специально разработанной разрядной системы на тлеющем разряде переменного тока. С помощью атомно-силовой микроскопии и рентгеновского анализа определены фазовый состав и морфология полученных пленок. Установлено, что полученные алмазные пленки имеют высокую чистоту и кристалличность. Отсутствуют включения неалмазной фазы углерода. Скорость роста алмазной пленки 6–7 $\mu$m/h.
Поступила в редакцию: 15.08.2011
Англоязычная версия:
Technical Physics Letters, 2012, Volume 38, Issue 3, Pages 258–260
DOI: https://doi.org/10.1134/S1063785012030273
Реферативные базы данных:
Тип публикации: Статья
Образец цитирования: С. А. Линник, А. В. Гайдайчук, “Синтез алмазных пленок в сильноточном тлеющем разряде переменного тока”, Письма в ЖТФ, 38:6 (2012), 9–14; Tech. Phys. Lett., 38:3 (2012), 258–260
Цитирование в формате AMSBIB
\RBibitem{LinGai12}
\by С.~А.~Линник, А.~В.~Гайдайчук
\paper Синтез алмазных пленок в сильноточном тлеющем разряде переменного тока
\jour Письма в ЖТФ
\yr 2012
\vol 38
\issue 6
\pages 9--14
\mathnet{http://mi.mathnet.ru/pjtf8797}
\elib{https://elibrary.ru/item.asp?id=20327822}
\transl
\jour Tech. Phys. Lett.
\yr 2012
\vol 38
\issue 3
\pages 258--260
\crossref{https://doi.org/10.1134/S1063785012030273}
Образцы ссылок на эту страницу:
  • https://www.mathnet.ru/rus/pjtf8797
  • https://www.mathnet.ru/rus/pjtf/v38/i6/p9
    • Эта публикация цитируется в следующих 11 статьяx:
    Citing articles in Google Scholar: Russian citations, English citations
    Related articles in Google Scholar: Russian articles, English articles
    		Письма в Журнал технической физики Письма в Журнал технической физики
     
      Обратная связь:
    		  Пользовательское соглашение  Регистрация посетителей портала  Логотипы © Математический институт им. В. А. Стеклова РАН, 2025