|
|
Письма в Журнал технической физики, 2012, том 38, выпуск 12, страницы 8–16
(Mi pjtf8879)
|
|
|
|
Эта публикация цитируется в 9 научных статьях (всего в 9 статьях)
Кристаллизация и термохромизм в пленках оксида вольфрама, отожженных в вакууме
В. И. Шаповаловab, А. Е. Лапшинab, А. Е. Комлевab, А. А. Комлевab a Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет «ЛЭТИ» им. В. И. Ульянова (Ленина)
b Институт химии силикатов имени И. В. Гребенщикова РАН, г. Санкт-Петербург
Аннотация:
Приведены результаты исследования кристаллических фаз в пленках оксида вольфрама после ступенчатого отжига в вакууме и на воздухе в диапазоне температур 500–750$^\circ$C. Пленки были осаждены на подложку из кварцевого стекла методом реактивного магнетронного распыления на постоянном токе. Установлено, что термохромизм в пленках обусловлен дефектной по киcлороду фазой WO$_{3-x}$, относящейся к гексагональной сингонии, которая интенсивно развивается при повышении температуры отжига от 650 до 750$^\circ$C.
Поступила в редакцию: 20.02.2012
Образец цитирования:
В. И. Шаповалов, А. Е. Лапшин, А. Е. Комлев, А. А. Комлев, “Кристаллизация и термохромизм в пленках оксида вольфрама, отожженных в вакууме”, Письма в ЖТФ, 38:12 (2012), 8–16; Tech. Phys. Lett., 38:6 (2012), 555–558
Образцы ссылок на эту страницу:
https://www.mathnet.ru/rus/pjtf8879 https://www.mathnet.ru/rus/pjtf/v38/i12/p8
|
|