|
|
Письма в Журнал технической физики, 2012, том 38, выпуск 12, страницы 24–29
(Mi pjtf8881)
|
|
|
|
Эта публикация цитируется в 4 научных статьях (всего в 4 статьях)
Изучение влияния пористой подложки SiO$_2$ на свойства пленок Al$_2$O$_3$ с помощью рентгеновской рефлектометрии
А. С. Конашук, А. А. Соколов, В. Е. Дрозд, А. А. Романов, Е. О. Филатова Санкт-Петербургский государственный университет
Аннотация:
Методом рентгеновской спектроскопии отражения изучено строение пленок Al$_2$O$_3$ различной толщины, синтезированных техникой молекулярного наслаивания на пористом SiO$_2$. Установлено, что синтезированные пленки являются аморфными, причем соотношение количества тетраэдрических и октаэдрических координаций атомов алюминия в пленке зависит от ее толщины. Предположительно более толстые пленки оксида алюминия содержат больше тетраэдрических координаций.
Поступила в редакцию: 30.11.2011
Образец цитирования:
А. С. Конашук, А. А. Соколов, В. Е. Дрозд, А. А. Романов, Е. О. Филатова, “Изучение влияния пористой подложки SiO$_2$ на свойства пленок Al$_2$O$_3$ с помощью рентгеновской рефлектометрии”, Письма в ЖТФ, 38:12 (2012), 24–29; Tech. Phys. Lett., 38:6 (2012), 562–564
Образцы ссылок на эту страницу:
https://www.mathnet.ru/rus/pjtf8881 https://www.mathnet.ru/rus/pjtf/v38/i12/p24
|
|