|
|
Письма в Журнал технической физики, 2012, том 38, выпуск 15, страницы 34–39
(Mi pjtf8919)
|
|
|
|
О возможности непосредственного определения упругих постоянных тонких пленок в направлении, поперечном к плоскости пленки
С. В. Боритко Научно-технологический центр уникального приборостроения РАН, Москва
Аннотация:
Приводится описание возможности определения величины упругих постоянных тонких пленок, нанесенных на свободный торец звукопровода, в поперечном к плоскости пленки направлении. В основе предлагаемой методики лежит измерение изменения частот собственных колебаний составного акустического резонатора, содержащего звукопровод и электроакустический преобразователь объемных акустических волн, при его нагрузке тонкопленочным покрытием. Приводятся результаты экпериментальной проверки предложенной методики для тонкой (3.25 $\mu$m) пленки каучука марки ДСТ-30, нанесенной на свободный торец резонатора из плавленого кварца с рабочим диапазоном 80-150 MHz. Показано, что эластичность пленки дивинил-стирольного каучука вдоль и поперек ее плоскости различаются почти на четыре порядка.
Поступила в редакцию: 01.03.2012
Образец цитирования:
С. В. Боритко, “О возможности непосредственного определения упругих постоянных тонких пленок в направлении, поперечном к плоскости пленки”, Письма в ЖТФ, 38:15 (2012), 34–39; Tech. Phys. Lett., 38:8 (2012), 703–705
Образцы ссылок на эту страницу:
https://www.mathnet.ru/rus/pjtf8919 https://www.mathnet.ru/rus/pjtf/v38/i15/p34
|
|