Письма в Журнал технической физики
RUS  ENG    ЖУРНАЛЫ   ПЕРСОНАЛИИ   ОРГАНИЗАЦИИ   КОНФЕРЕНЦИИ   СЕМИНАРЫ   ВИДЕОТЕКА   ПАКЕТ AMSBIB  
Общая информация
Последний выпуск
Архив
Правила для авторов

Поиск публикаций
Поиск ссылок

RSS
Последний выпуск
Текущие выпуски
Архивные выпуски
Что такое RSS


Письма в ЖТФ:
Год:
Том:
Выпуск:
Страница:
Найти




Персональный вход:
Логин:
Пароль:
Запомнить пароль
Войти
Забыли пароль?
Регистрация

Письма в Журнал технической физики, 2012, том 38, выпуск 16, страницы 1–8 (Mi pjtf8927)  
Эта публикация цитируется в 4 научных статьях (всего в 4 статьях)

Исследование морфологии пленок поликристаллического кремния с шероховатой поверхностью

А. В. Новакab, Ю. В. Никольскийab, С. Н. Фокичевab

a Национальный исследовательский университет "МИЭТ", Зеленоград
b АО "Ангстрем", Москва, Зеленоград
PDF полного текста (483 kB) Список цитирования (4)
Аннотация: Посредством атомно-силовой микроскопии (АСМ) изучена зависимость морфологии пленок поликристаллического кремния с шероховатой поверхностью, полученных методом химического парофазного осаждения при низком давлении (LPCVD), от температуры осаждения. Для температурного интервала, в котором происходит образование пленок поликристаллического кремния с шероховатой поверхностью, получены зависимости относительного приращения площади поверхности, плотности, среднего размера и средней высоты зерен, среднеквадратической шероховатости и корреляционной длины от температуры осаждения.
Поступила в редакцию: 26.03.2012
Англоязычная версия:
Technical Physics Letters, 2012, Volume 38, Issue 8, Pages 732–735
DOI: https://doi.org/10.1134/S1063785012080202
Реферативные базы данных:
Тип публикации: Статья
Образец цитирования: А. В. Новак, Ю. В. Никольский, С. Н. Фокичев, “Исследование морфологии пленок поликристаллического кремния с шероховатой поверхностью”, Письма в ЖТФ, 38:16 (2012), 1–8; Tech. Phys. Lett., 38:8 (2012), 732–735
Цитирование в формате AMSBIB
\RBibitem{NovNikFok12}
\by А.~В.~Новак, Ю.~В.~Никольский, С.~Н.~Фокичев
\paper Исследование морфологии пленок поликристаллического кремния с шероховатой поверхностью
\jour Письма в ЖТФ
\yr 2012
\vol 38
\issue 16
\pages 1--8
\mathnet{http://mi.mathnet.ru/pjtf8927}
\elib{https://elibrary.ru/item.asp?id=20327952}
\transl
\jour Tech. Phys. Lett.
\yr 2012
\vol 38
\issue 8
\pages 732--735
\crossref{https://doi.org/10.1134/S1063785012080202}
Образцы ссылок на эту страницу:
  • https://www.mathnet.ru/rus/pjtf8927
  • https://www.mathnet.ru/rus/pjtf/v38/i16/p1
    • Эта публикация цитируется в следующих 4 статьяx:
    Citing articles in Google Scholar: Russian citations, English citations
    Related articles in Google Scholar: Russian articles, English articles
    		Письма в Журнал технической физики Письма в Журнал технической физики
     
      Обратная связь:
    		  Пользовательское соглашение  Регистрация посетителей портала  Логотипы © Математический институт им. В. А. Стеклова РАН, 2025