Письма в Журнал технической физики
RUS  ENG    ЖУРНАЛЫ   ПЕРСОНАЛИИ   ОРГАНИЗАЦИИ   КОНФЕРЕНЦИИ   СЕМИНАРЫ   ВИДЕОТЕКА   ПАКЕТ AMSBIB  
Общая информация
Последний выпуск
Архив
Правила для авторов

Поиск публикаций
Поиск ссылок

RSS
Последний выпуск
Текущие выпуски
Архивные выпуски
Что такое RSS


Письма в ЖТФ:
Год:
Том:
Выпуск:
Страница:
Найти




Персональный вход:
Логин:
Пароль:
Запомнить пароль
Войти
Забыли пароль?
Регистрация

Письма в Журнал технической физики, 2012, том 38, выпуск 17, страницы 1–6 (Mi pjtf8938)  
Разработка метода расчета фактора корреляции рельефов подложки и пленочного покрытия по данным атомно-силовой микроскопии

Ю. В. Грищенко, М. Л. Занавескин, А. Н. Марченков

Национальный исследовательский центр "Курчатовский институт", г. Москва
PDF полного текста (129 kB)
Аннотация: Представлена методика, позволяющая по данным атомно-силовой микроскопии проводить расчет фактора корреляции рельефов подложки и пленочного покрытия, который является функцией пространственной частоты и характеризует степень согласованности рельефов. Изучено влияние артефактов атомно-силовой микроскопии на рассчитываемый фактор корреляции и определен диапазон достоверных пространственных частот. Рассчитан фактор корреляции многослойного зеркального покрытия и подложки.
Поступила в редакцию: 28.03.2012
Англоязычная версия:
Technical Physics Letters, 2012, Volume 38, Issue 9, Pages 777–779
DOI: https://doi.org/10.1134/S1063785012090064
Реферативные базы данных:
Тип публикации: Статья
Образец цитирования: Ю. В. Грищенко, М. Л. Занавескин, А. Н. Марченков, “Разработка метода расчета фактора корреляции рельефов подложки и пленочного покрытия по данным атомно-силовой микроскопии”, Письма в ЖТФ, 38:17 (2012), 1–6; Tech. Phys. Lett., 38:9 (2012), 777–779
Цитирование в формате AMSBIB
\RBibitem{GriZanMar12}
\by Ю.~В.~Грищенко, М.~Л.~Занавескин, А.~Н.~Марченков
\paper Разработка метода расчета фактора корреляции рельефов подложки и пленочного покрытия по данным атомно-силовой микроскопии
\jour Письма в ЖТФ
\yr 2012
\vol 38
\issue 17
\pages 1--6
\mathnet{http://mi.mathnet.ru/pjtf8938}
\elib{https://elibrary.ru/item.asp?id=20327963}
\transl
\jour Tech. Phys. Lett.
\yr 2012
\vol 38
\issue 9
\pages 777--779
\crossref{https://doi.org/10.1134/S1063785012090064}
Образцы ссылок на эту страницу:
  • https://www.mathnet.ru/rus/pjtf8938
  • https://www.mathnet.ru/rus/pjtf/v38/i17/p1
    • Citing articles in Google Scholar: Russian citations, English citations
    Related articles in Google Scholar: Russian articles, English articles
    		Письма в Журнал технической физики Письма в Журнал технической физики
     
      Обратная связь:
    		  Пользовательское соглашение  Регистрация посетителей портала  Логотипы © Математический институт им. В. А. Стеклова РАН, 2025