Письма в Журнал технической физики
RUS  ENG    ЖУРНАЛЫ   ПЕРСОНАЛИИ   ОРГАНИЗАЦИИ   КОНФЕРЕНЦИИ   СЕМИНАРЫ   ВИДЕОТЕКА   ПАКЕТ AMSBIB  
Общая информация
Последний выпуск
Архив
Правила для авторов

Поиск публикаций
Поиск ссылок

RSS
Последний выпуск
Текущие выпуски
Архивные выпуски
Что такое RSS


Письма в ЖТФ:
Год:
Том:
Выпуск:
Страница:
Найти




Персональный вход:
Логин:
Пароль:
Запомнить пароль
Войти
Забыли пароль?
Регистрация

Письма в Журнал технической физики, 2012, том 38, выпуск 19, страницы 83–89 (Mi pjtf8974)  
Эта публикация цитируется в 14 научных статьях (всего в 14 статьях)

Формирование ультратонких слоев кремния на сапфире

А. А. Шемухинabcd, Ю. В. Балакшинabcd, В. С. Чернышabcd, А. С. Патракеевabcd, С. А. Голубковabcd, Н. Н. Егоровabcd, А. И. Сидоровabcd, Б. А. Малюковabcd, В. Н. Стаценкоabcd, В. Д. Чумакabcd

a Московский государственный университет имени М. В. Ломоносова, Научно-исследовательский институт ядерной физики им. Д. В. Скобельцына
b Московский государственный университет имени М. В. Ломоносова
c Научно-исследовательский институт материаловедения, г. Зеленоград
d АО "Эпиэл" Зеленоград, Москва, Зеленоград
PDF полного текста (330 kB) Список цитирования (14)
Аннотация: Показано влияние энергии, дозы и температуры облучения КНС-структур ионами Si$^+$, а также параметров рекристаллизационного отжига на кристалличность кремниевой пленки. Определены условия проведения имплантации и рекристаллизационного отжига.
Поступила в редакцию: 08.06.2012
Англоязычная версия:
Technical Physics Letters, 2012, Volume 38, Issue 10, Pages 907–909
DOI: https://doi.org/10.1134/S1063785012100112
Реферативные базы данных:
Тип публикации: Статья
Образец цитирования: А. А. Шемухин, Ю. В. Балакшин, В. С. Черныш, А. С. Патракеев, С. А. Голубков, Н. Н. Егоров, А. И. Сидоров, Б. А. Малюков, В. Н. Стаценко, В. Д. Чумак, “Формирование ультратонких слоев кремния на сапфире”, Письма в ЖТФ, 38:19 (2012), 83–89; Tech. Phys. Lett., 38:10 (2012), 907–909
Цитирование в формате AMSBIB
\RBibitem{SheBalChe12}
\by А.~А.~Шемухин, Ю.~В.~Балакшин, В.~С.~Черныш, А.~С.~Патракеев, С.~А.~Голубков, Н.~Н.~Егоров, А.~И.~Сидоров, Б.~А.~Малюков, В.~Н.~Стаценко, В.~Д.~Чумак
\paper Формирование ультратонких слоев кремния на сапфире
\jour Письма в ЖТФ
\yr 2012
\vol 38
\issue 19
\pages 83--89
\mathnet{http://mi.mathnet.ru/pjtf8974}
\elib{https://elibrary.ru/item.asp?id=20327999}
\transl
\jour Tech. Phys. Lett.
\yr 2012
\vol 38
\issue 10
\pages 907--909
\crossref{https://doi.org/10.1134/S1063785012100112}
Образцы ссылок на эту страницу:
  • https://www.mathnet.ru/rus/pjtf8974
  • https://www.mathnet.ru/rus/pjtf/v38/i19/p83
    • Эта публикация цитируется в следующих 14 статьяx:
    Citing articles in Google Scholar: Russian citations, English citations
    Related articles in Google Scholar: Russian articles, English articles
    		Письма в Журнал технической физики Письма в Журнал технической физики
     
      Обратная связь:
    		  Пользовательское соглашение  Регистрация посетителей портала  Логотипы © Математический институт им. В. А. Стеклова РАН, 2025