Письма в Журнал технической физики
RUS  ENG    ЖУРНАЛЫ   ПЕРСОНАЛИИ   ОРГАНИЗАЦИИ   КОНФЕРЕНЦИИ   СЕМИНАРЫ   ВИДЕОТЕКА   ПАКЕТ AMSBIB  
Общая информация
Последний выпуск
Архив
Правила для авторов

Поиск публикаций
Поиск ссылок

RSS
Последний выпуск
Текущие выпуски
Архивные выпуски
Что такое RSS


Письма в ЖТФ:
Год:
Том:
Выпуск:
Страница:
Найти




Персональный вход:
Логин:
Пароль:
Запомнить пароль
Войти
Забыли пароль?
Регистрация

Письма в Журнал технической физики, 2012, том 38, выпуск 19, страницы 90–94 (Mi pjtf8975)  
Эта публикация цитируется в 2 научных статьях (всего в 2 статьях)

Отжиг радиационно-компенсированного карбида кремния

А. А. Лебедевab, Е. В. Богдановаab, М. В. Григорьеваab, С. П. Лебедевab, В. В. Козловскийab

a Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук, г. Санкт-Петербург
b Санкт-Петербургский государственный политехнический университет
PDF полного текста (132 kB) Список цитирования (2)
Аннотация: Было проведено исследование процессов восстановления проводимости радиационно-компенсированных эпитаксиальных слоев различных политипов карбида кремния $p$-типа проводимости. Показано, что созданная облучением компенсация SiC сохраняется при отжигах $\le$ 1000$^\circ$C. Практически полное восстановление проводимости происходит при $T\ge$ 1200$^\circ$C. Данный характер отжига радиационной компенсации не зависит от политипа карбида кремния и исходного уровня легирования эпитаксиального слоя. Определенные температуры полного отжига значительно превосходят рабочие температуры приборов SiC.
Поступила в редакцию: 03.05.2012
Англоязычная версия:
Technical Physics Letters, 2012, Volume 38, Issue 10, Pages 910–912
DOI: https://doi.org/10.1134/S1063785012100069
Реферативные базы данных:
Тип публикации: Статья
Образец цитирования: А. А. Лебедев, Е. В. Богданова, М. В. Григорьева, С. П. Лебедев, В. В. Козловский, “Отжиг радиационно-компенсированного карбида кремния”, Письма в ЖТФ, 38:19 (2012), 90–94; Tech. Phys. Lett., 38:10 (2012), 910–912
Цитирование в формате AMSBIB
\RBibitem{LebBogGri12}
\by А.~А.~Лебедев, Е.~В.~Богданова, М.~В.~Григорьева, С.~П.~Лебедев, В.~В.~Козловский
\paper Отжиг радиационно-компенсированного карбида кремния
\jour Письма в ЖТФ
\yr 2012
\vol 38
\issue 19
\pages 90--94
\mathnet{http://mi.mathnet.ru/pjtf8975}
\elib{https://elibrary.ru/item.asp?id=20328000}
\transl
\jour Tech. Phys. Lett.
\yr 2012
\vol 38
\issue 10
\pages 910--912
\crossref{https://doi.org/10.1134/S1063785012100069}
Образцы ссылок на эту страницу:
  • https://www.mathnet.ru/rus/pjtf8975
  • https://www.mathnet.ru/rus/pjtf/v38/i19/p90
    • Эта публикация цитируется в следующих 2 статьяx:
    Citing articles in Google Scholar: Russian citations, English citations
    Related articles in Google Scholar: Russian articles, English articles
    		Письма в Журнал технической физики Письма в Журнал технической физики
     
      Обратная связь:
    		  Пользовательское соглашение  Регистрация посетителей портала  Логотипы © Математический институт им. В. А. Стеклова РАН, 2025