|
|
Письма в Журнал технической физики, 2012, том 38, выпуск 20, страницы 50–56
(Mi pjtf8983)
|
|
|
|
Эта публикация цитируется в 6 научных статьях (всего в 6 статьях)
Плазмохимический синтез нитридных соединений на основе алюминия в плазме вакуумно-дугового разряда
Ю. А. Быстровabc, Н. З. Ветровabc, А. А. Лисенковabc a Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет «ЛЭТИ» им. В. И. Ульянова (Ленина)
b АО "С.Е.Д.-СПб", г. Санкт-Петербург
c Институт проблем машиноведения РАН, г. Санкт-Петербург
Аннотация:
Предложен вакуумно-дуговой способ плазмохимического синтеза нитридных соединений на основе алюминия (AlN и Ti–Al–N). Изучены состав и структура формируемых покрытий. Показано, что при условии очистки плазменного потока от капельных образований, за счет управления разрядным током, распределением плотности ионного тока в рабочем объеме и давлением газа, удается эффективно управлять составом и структурой формируемого покрытия.
Поступила в редакцию: 14.06.2012
Образец цитирования:
Ю. А. Быстров, Н. З. Ветров, А. А. Лисенков, “Плазмохимический синтез нитридных соединений на основе алюминия в плазме вакуумно-дугового разряда”, Письма в ЖТФ, 38:20 (2012), 50–56; Tech. Phys. Lett., 38:10 (2012), 938–940
Образцы ссылок на эту страницу:
https://www.mathnet.ru/rus/pjtf8983 https://www.mathnet.ru/rus/pjtf/v38/i20/p50
|
|