Динамика ионизации в лазерной плазме на газовой мишени при низких давлениях

В источниках коротковолнового излучения на Xe лазерной плазме коэффициент конверсии энергии лазера в излучение EUV диапазона (CE) оказывается существенно ниже теоретических ожиданий. Сделанные оценки показывают, что одной из основных причин этого может быть длительный период начальной ионизации до момента появления высокозарядных ионов, способных испускать коротковолновые фотоны. Плазма при этом остается низкоионизованной и слабо поглощает лазерное излучение. Также выполнены измерения поглощения света лазера, которые позволяют получить сведения, подтверждающие упомянутые оценки. В качестве метода ускорения процесса ионизации и, соответственно, повышения CE предлагается предыонизация газовой мишени импульсом ультрафиолетового (UV) эксимерного лазера.