Письма в Журнал технической физики
RUS  ENG    ЖУРНАЛЫ   ПЕРСОНАЛИИ   ОРГАНИЗАЦИИ   КОНФЕРЕНЦИИ   СЕМИНАРЫ   ВИДЕОТЕКА   ПАКЕТ AMSBIB  
Общая информация
Последний выпуск
Архив
Правила для авторов

Поиск публикаций
Поиск ссылок

RSS
Последний выпуск
Текущие выпуски
Архивные выпуски
Что такое RSS


Письма в ЖТФ:
Год:
Том:
Выпуск:
Страница:
Найти




Персональный вход:
Логин:
Пароль:
Запомнить пароль
Войти
Забыли пароль?
Регистрация

Письма в Журнал технической физики, 2012, том 38, выпуск 24, страницы 60–66 (Mi pjtf9036)  
Эта публикация цитируется в 5 научных статьях (всего в 5 статьях)

Равноскоростное магнетронное распыление мозаичных медно-графитовых мишеней

Ю. А. Манкелевичabc, А. В. Митинabc, В. С. Митинabc, А. Ф. Пальabc, Т. В. Рахимоваabc, А. Н. Рябинкинabc, А. О. Серовabc, С. Ю. Лучкинabc

a Московский государственный университет имени М. В. Ломоносова, Научно-исследовательский институт ядерной физики им. Д. В. Скобельцына
b Московский государственный университет имени М. В. Ломоносова
c Всероссийский научно-исследовательский институт неорганических материалов им. академика А. А. Бочвара, г. Москва
PDF полного текста (225 kB) Список цитирования (5)
Аннотация: На основании экспериментальных данных по распылению медно-графитовых катодов предложен механизм равноскоростного распыления элементов мозаичных мишеней, изготовленных из материалов с коэффициентами распыления, отличающимися почти на порядок. Механизм учитывает возникновение перепада высот между элементами мозаики на начальном этапе распыления, перераспределение ионных потоков между элементами, а также эффекты, связанные с массопереносом в плазме и внедрением распыленных атомов в элементы мозаики другого сорта.
Поступила в редакцию: 06.04.2012
Англоязычная версия:
Technical Physics Letters, 2013, Volume 39, Issue 1, Pages 39–41
DOI: https://doi.org/10.1134/S1063785013010203
Реферативные базы данных:
Тип публикации: Статья
Образец цитирования: Ю. А. Манкелевич, А. В. Митин, В. С. Митин, А. Ф. Паль, Т. В. Рахимова, А. Н. Рябинкин, А. О. Серов, С. Ю. Лучкин, “Равноскоростное магнетронное распыление мозаичных медно-графитовых мишеней”, Письма в ЖТФ, 38:24 (2012), 60–66; Tech. Phys. Lett., 39:1 (2013), 39–41
Цитирование в формате AMSBIB
\RBibitem{ManMitMit12}
\by Ю.~А.~Манкелевич, А.~В.~Митин, В.~С.~Митин, А.~Ф.~Паль, Т.~В.~Рахимова, А.~Н.~Рябинкин, А.~О.~Серов, С.~Ю.~Лучкин
\paper Равноскоростное магнетронное распыление мозаичных медно-графитовых мишеней
\jour Письма в ЖТФ
\yr 2012
\vol 38
\issue 24
\pages 60--66
\mathnet{http://mi.mathnet.ru/pjtf9036}
\elib{https://elibrary.ru/item.asp?id=20328063}
\transl
\jour Tech. Phys. Lett.
\yr 2013
\vol 39
\issue 1
\pages 39--41
\crossref{https://doi.org/10.1134/S1063785013010203}
Образцы ссылок на эту страницу:
  • https://www.mathnet.ru/rus/pjtf9036
  • https://www.mathnet.ru/rus/pjtf/v38/i24/p60
    • Эта публикация цитируется в следующих 5 статьяx:
    Citing articles in Google Scholar: Russian citations, English citations
    Related articles in Google Scholar: Russian articles, English articles
    		Письма в Журнал технической физики Письма в Журнал технической физики
     
      Обратная связь:
    		  Пользовательское соглашение  Регистрация посетителей портала  Логотипы © Математический институт им. В. А. Стеклова РАН, 2025