Письма в Журнал технической физики
RUS  ENG    ЖУРНАЛЫ   ПЕРСОНАЛИИ   ОРГАНИЗАЦИИ   КОНФЕРЕНЦИИ   СЕМИНАРЫ   ВИДЕОТЕКА   ПАКЕТ AMSBIB  
Общая информация
Последний выпуск
Архив
Правила для авторов

Поиск публикаций
Поиск ссылок

RSS
Последний выпуск
Текущие выпуски
Архивные выпуски
Что такое RSS


Письма в ЖТФ:
Год:
Том:
Выпуск:
Страница:
Найти




Персональный вход:
Логин:
Пароль:
Запомнить пароль
Войти
Забыли пароль?
Регистрация

Письма в Журнал технической физики, 2012, том 38, выпуск 24, страницы 75–85 (Mi pjtf9038)  
Эта публикация цитируется в 3 научных статьях (всего в 3 статьях)

Новая альтернатива вторичным ионам CsM+ для послойного анализа многослойных металличеcких структур методом вторично-ионной масс-спектрометрии

М. Н. Дроздов, Ю. Н. Дроздов, В. Н. Полковников, С. Д. Стариков, П. А. Юнин

Институт физики микроструктур РАН, г. Нижний Новгород
PDF полного текста (326 kB) Список цитирования (3)
Аннотация: Проведено сопоставление результатов послойного анализа многослойных металлических структур методом вторично-ионной масс-спектрометрии с использованием различных типов регистрируемых вторичных ионов. Впервые показано, что для повышения разрешения по глубине наряду с известными вторичными ионами CsM$^+$ (M = La, Pd, Mo) могут быть использованы два новых варианта: M$^+$ при распылении ионами цезия и OM$^-$ при распылении ионами кислорода. Для многослойных структур Mo/Si использование элементарных вторичных ионов Mo$^+$ и Si$^+$ при распылении ионами Cs и зондировании кластерными ионами Bi$^+_3$ обеспечивает наилучшее разрешение по глубине.
Поступила в редакцию: 29.06.2012
Англоязычная версия:
Technical Physics Letters, 2013, Volume 39, Issue 1, Pages 46–50
DOI: https://doi.org/10.1134/S1063785013010070
Реферативные базы данных:
Тип публикации: Статья
Образец цитирования: М. Н. Дроздов, Ю. Н. Дроздов, В. Н. Полковников, С. Д. Стариков, П. А. Юнин, “Новая альтернатива вторичным ионам CsM+ для послойного анализа многослойных металличеcких структур методом вторично-ионной масс-спектрометрии”, Письма в ЖТФ, 38:24 (2012), 75–85; Tech. Phys. Lett., 39:1 (2013), 46–50
Цитирование в формате AMSBIB
\RBibitem{DroDroPol12}
\by М.~Н.~Дроздов, Ю.~Н.~Дроздов, В.~Н.~Полковников, С.~Д.~Стариков, П.~А.~Юнин
\paper Новая альтернатива вторичным ионам CsM+ для послойного анализа многослойных металличеcких структур методом вторично-ионной масс-спектрометрии
\jour Письма в ЖТФ
\yr 2012
\vol 38
\issue 24
\pages 75--85
\mathnet{http://mi.mathnet.ru/pjtf9038}
\elib{https://elibrary.ru/item.asp?id=20328065}
\transl
\jour Tech. Phys. Lett.
\yr 2013
\vol 39
\issue 1
\pages 46--50
\crossref{https://doi.org/10.1134/S1063785013010070}
Образцы ссылок на эту страницу:
  • https://www.mathnet.ru/rus/pjtf9038
  • https://www.mathnet.ru/rus/pjtf/v38/i24/p75
    • Эта публикация цитируется в следующих 3 статьяx:
    Citing articles in Google Scholar: Russian citations, English citations
    Related articles in Google Scholar: Russian articles, English articles
    		Письма в Журнал технической физики Письма в Журнал технической физики
     
      Обратная связь:
    		  Пользовательское соглашение  Регистрация посетителей портала  Логотипы © Математический институт им. В. А. Стеклова РАН, 2025