|
Влияние обработки поверхности подложки на эрозионный износ поликристаллических алмазных покрытий, осаждаемых газоструйным методом
А. А. Емельяновa, М. Ю. Плотниковa, Н. И. Тимошенкоa, И. Б. Юдинa, В. Ю. Ульяницкийb, И. С. Батраевb a Институт теплофизики им. С.С. Кутателадзе Сибирского отделения Российской академии наук, Новосибирск, Россия
b Институт гидродинамики им. М. А. Лаврентьева СО РАН, Новосибирск, Россия
Аннотация:
Представлены результаты исследования эрозионного износа поликристаллического алмазного покрытия, осаждаемого на молибденовую подложку. До нанесения алмазного покрытия проводилась обработка поверхности молибденовой подложки потоком микрочастиц корунда или карбида кремния. Алмазное покрытие наносилось на подложку методом газоструйного осаждения из смеси H$_2$–CH$_4$–Ar, активированной в сверхвысокочастотном разряде. Установлено, что предварительная обработка поверхности подложки способствует повышению износостойкости получаемого алмазного покрытия.
Ключевые слова:
газоструйное осаждение, поликристаллическая алмазная пленка, сверхвысокочастотный разряд, эрозионный износ.
Поступила в редакцию: 20.05.2024 Исправленный вариант: 31.07.2024 Принята в печать: 02.09.2024
Образец цитирования:
А. А. Емельянов, М. Ю. Плотников, Н. И. Тимошенко, И. Б. Юдин, В. Ю. Ульяницкий, И. С. Батраев, “Влияние обработки поверхности подложки на эрозионный износ поликристаллических алмазных покрытий, осаждаемых газоструйным методом”, Прикл. мех. техн. физ., 66:3 (2025), 56–62
Образцы ссылок на эту страницу:
https://www.mathnet.ru/rus/pmtf9695 https://www.mathnet.ru/rus/pmtf/v66/i3/p56
|
|