В. П. Тычинский, А. В. Тавров, “Лазерный компьютерный фазовый микроскоп с пространственным разрешением 10 нм”, Квантовая электроника, 17:3 (1990), 264–266 [Sov J Quantum Electron, 20:3 (1990), 206

Квантовая электроника

RUS ENG

ЖУРНАЛЫ ПЕРСОНАЛИИ ОРГАНИЗАЦИИ КОНФЕРЕНЦИИ СЕМИНАРЫ ВИДЕОТЕКА ПАКЕТ AMSBIB

JavaScript is disabled in your browser. Please switch it on to enable full functionality of the website

	Общая информация
	Последний выпуск
	Архив
	Импакт-фактор
	Правила для авторов
	Загрузить рукопись

	Поиск публикаций
	Поиск ссылок

	RSS
	Последний выпуск
	Текущие выпуски
	Архивные выпуски
	Что такое RSS

Квантовая электроника:
Год:
Том:
Выпуск:
Страница:
	Найти

Персональный вход:
Логин:
Пароль:
	Запомнить пароль
	Войти
	Забыли пароль?
	Регистрация

Квантовая электроника, 1990, том 17, номер 3, страницы 264–266 (Mi qe5588)

Эта публикация цитируется в 1 научной статье (всего в 1 статье)

Письма в редакцию

Лазерный компьютерный фазовый микроскоп с пространственным разрешением 10 нм

В. П. Тычинский, А. В. Тавров

Московский институт радиотехники, электроники и автоматики

PDF полного текста (774 kB) Список цитирования (1)

Аннотация: Показано, что в фазовом изображении объекта может быть реализовано сверхрелеевское пространственное разрешение. Измерения на компьютерном фазовом микроскопе подтвердили возможность определения координаты резкого изменения высоты профиля полупроводниковой структуры с точностью выше 10 нм.

Поступила в редакцию: 27.10.1989

Англоязычная версия:
Soviet Journal of Quantum Electronics, 1990, Volume 20, Issue 3, Pages 206–207
DOI: https://doi.org/10.1070/QE1990v020n03ABEH005588

Реферативные базы данных:

Тип публикации: Статья

УДК: 681.723:621.373.826

PACS: 07.60.Pb, 42.62.-b, 42.30.-d, 07.05.-t

Образец цитирования: В. П. Тычинский, А. В. Тавров, “Лазерный компьютерный фазовый микроскоп с пространственным разрешением 10 нм”, Квантовая электроника, 17:3 (1990), 264–266 [Sov J Quantum Electron, 20:3 (1990), 206–207]

Образцы ссылок на эту страницу:

https://www.mathnet.ru/rus/qe5588

https://www.mathnet.ru/rus/qe/v17/i3/p264

Эта публикация цитируется в следующих 1 статьяx:

Citing articles in Google Scholar: Russian citations, English citations
Related articles in Google Scholar: Russian articles, English articles

Обратная связь:

Пользовательское соглашение

Регистрация посетителей портала

Логотипы