К. А. Валиев, Л. В. Великов, Г. С. Волков, Д. Ю. Зарослов, Д. Р. Илькаев, В. Е. Матюшков, Т. М. Махвиладзе, А. А. Шалапенок, “Влияние пространственной когерентности лазерного излучения на качество изображения в проекционной системе с растровым осветителем келлеровского типа”, Квантовая электроника, 17:4 (1990), 512–516 [Sov J Quantum Electron, 20:4 (1990), 446

Квантовая электроника

RUS ENG

ЖУРНАЛЫ ПЕРСОНАЛИИ ОРГАНИЗАЦИИ КОНФЕРЕНЦИИ СЕМИНАРЫ ВИДЕОТЕКА ПАКЕТ AMSBIB

JavaScript is disabled in your browser. Please switch it on to enable full functionality of the website

	Общая информация
	Последний выпуск
	Архив
	Импакт-фактор
	Правила для авторов
	Загрузить рукопись

	Поиск публикаций
	Поиск ссылок

	RSS
	Последний выпуск
	Текущие выпуски
	Архивные выпуски
	Что такое RSS

Квантовая электроника:
Год:
Том:
Выпуск:
Страница:
	Найти

Персональный вход:
Логин:
Пароль:
	Запомнить пароль
	Войти
	Забыли пароль?
	Регистрация

Квантовая электроника, 1990, том 17, номер 4, страницы 512–516 (Mi qe5953)

Применения лазеров

Влияние пространственной когерентности лазерного излучения на качество изображения в проекционной системе с растровым осветителем келлеровского типа

К. А. Валиев, Л. В. Великов, Г. С. Волков, Д. Ю. Зарослов, Д. Р. Илькаев, В. Е. Матюшков, Т. М. Махвиладзе, А. А. Шалапенок

Физико-технологический институт АН СССР, Москва

PDF полного текста (1551 kB)

Аннотация: Экспериментально и методами математического моделирования исследуется влияние степени когерентности на входе проекционной оптической системы на качество получаемого изображения. Показана возможность проекционной лазерной литографии в системе с несканинирующим растровым осветителем келлеровского типа и эксимерным лазером в качестве источника излучения.

Поступила в редакцию: 20.04.1989

Англоязычная версия:
Soviet Journal of Quantum Electronics, 1990, Volume 20, Issue 4, Pages 446–450
DOI: https://doi.org/10.1070/QE1990v020n04ABEH005953

Реферативные базы данных:

Тип публикации: Статья

УДК: 621.373.826.038.823

PACS: 42.55.Lt, 42.62.-b, 42.30.Va, 42.25.Kb

Образец цитирования: К. А. Валиев, Л. В. Великов, Г. С. Волков, Д. Ю. Зарослов, Д. Р. Илькаев, В. Е. Матюшков, Т. М. Махвиладзе, А. А. Шалапенок, “Влияние пространственной когерентности лазерного излучения на качество изображения в проекционной системе с растровым осветителем келлеровского типа”, Квантовая электроника, 17:4 (1990), 512–516 [Sov J Quantum Electron, 20:4 (1990), 446–450]

Образцы ссылок на эту страницу:

https://www.mathnet.ru/rus/qe5953

https://www.mathnet.ru/rus/qe/v17/i4/p512

Citing articles in Google Scholar: Russian citations, English citations
Related articles in Google Scholar: Russian articles, English articles

Обратная связь:

Пользовательское соглашение

Регистрация посетителей портала

Логотипы