Ю. А. Быковский, А. В. Миронос, В. Л. Смирнов, В. И. Солдатов, “Использование селективности растворения пленок халькогенидных стеклообразных полупроводников для формирования пассивных элементов интегральной оптики”, Квантовая электроника, 12:6 (1985), 1302–1304 [Sov J Quantum Electron, 15:6 (1985), 863

Квантовая электроника

RUS ENG

ЖУРНАЛЫ ПЕРСОНАЛИИ ОРГАНИЗАЦИИ КОНФЕРЕНЦИИ СЕМИНАРЫ ВИДЕОТЕКА ПАКЕТ AMSBIB

JavaScript is disabled in your browser. Please switch it on to enable full functionality of the website

	Общая информация
	Последний выпуск
	Архив
	Импакт-фактор
	Правила для авторов
	Загрузить рукопись

	Поиск публикаций
	Поиск ссылок

	RSS
	Последний выпуск
	Текущие выпуски
	Архивные выпуски
	Что такое RSS

Квантовая электроника:
Год:
Том:
Выпуск:
Страница:
	Найти

Персональный вход:
Логин:
Пароль:
	Запомнить пароль
	Войти
	Забыли пароль?
	Регистрация

Квантовая электроника, 1985, том 12, номер 6, страницы 1302–1304 (Mi qe7176)

Краткие сообщения

Использование селективности растворения пленок халькогенидных стеклообразных полупроводников для формирования пассивных элементов интегральной оптики

Ю. А. Быковский, А. В. Миронос, В. Л. Смирнов, В. И. Солдатов

Московский инженерно-физический институт

PDF полного текста (516 kB)

Аннотация: Исследовано влияние формы профиля стехиометрии пленок системы As–S на динамику их растворения в щелочном травителе. Показано, что поверхностные изменения стехиометрии в экспонированных пленках системы As–S влияют на скорость растворения пленок ХСП. Рассмотрены динамика растворения ХСП пленок с заданными профилями стехиометрии и способы формирования решетчатых структур с высокой дифракционной эффективностью.

Поступила в редакцию: 01.08.1984
Исправленный вариант: 03.12.1984

Англоязычная версия:
Soviet Journal of Quantum Electronics, 1985, Volume 15, Issue 6, Pages 863–864
DOI: https://doi.org/10.1070/QE1985v015n06ABEH007176

Реферативные базы данных:

Тип публикации: Статья

УДК: 621.372.8.029.7

PACS: 42.82.Et, 78.66.Jg, 81.65.Cf, 42.79.Dj, 61.50.Nw

Образец цитирования: Ю. А. Быковский, А. В. Миронос, В. Л. Смирнов, В. И. Солдатов, “Использование селективности растворения пленок халькогенидных стеклообразных полупроводников для формирования пассивных элементов интегральной оптики”, Квантовая электроника, 12:6 (1985), 1302–1304 [Sov J Quantum Electron, 15:6 (1985), 863–864]

Образцы ссылок на эту страницу:

https://www.mathnet.ru/rus/qe7176

https://www.mathnet.ru/rus/qe/v12/i6/p1302

Citing articles in Google Scholar: Russian citations, English citations
Related articles in Google Scholar: Russian articles, English articles

Обратная связь:

Пользовательское соглашение

Регистрация посетителей портала

Логотипы